১) সমতল টার্গেটের তুলনায় নলাকার টার্গেটের ব্যবহার হার বেশি। কোটিং প্রক্রিয়ায়, টার্গেটটি ঘূর্ণায়মান চৌম্বকীয় ধরনের হোক বা ঘূর্ণায়মান নলাকার স্পাটারিং টার্গেট হোক, টার্গেট টিউবের পৃষ্ঠের সমস্ত অংশ স্থায়ী চুম্বকের সামনে তৈরি হওয়া স্পাটারিং এলাকার মধ্য দিয়ে অবিচ্ছিন্নভাবে অতিক্রম করে ক্যাথোড স্পাটারিং গ্রহণ করে, এবং টার্গেটটি সুষমভাবে স্পাটার এচিং করা যায়, ফলে টার্গেটের ব্যবহার হার বেশি হয়। টার্গেট উপাদানের ব্যবহার হার প্রায় ৮০%~৯০%।
২) নলাকার টার্গেটে সহজে “টার্গেট পয়জনিং” হয় না। কোটিং প্রক্রিয়ার সময়, টার্গেট টিউবের পৃষ্ঠ সর্বদা আয়ন দ্বারা স্পাটারিং এবং এচিং করা হয়, এবং এর পৃষ্ঠে পুরু অক্সাইড এবং অন্যান্য অন্তরক স্তর সহজে জমা হয় না, ফলে “টার্গেট পয়জনিং” সহজে হয় না।
৩) রোটারি টার্গেট টিউব টাইপ সিলিন্ড্রিক্যাল স্পাটারিং টার্গেটের গঠন সরল এবং এটি স্থাপন করা সহজ।
৪) নলাকার টার্গেট টিউবের উপাদান বিভিন্ন ধরনের হয়ে থাকে। ধাতব টার্গেটের মতো সমতল টার্গেট সরাসরি জলে ঠান্ডা করে তৈরি করা হয়, এবং কিছু টার্গেটকে প্রক্রিয়াজাত করে নলাকার রূপ দেওয়া যায় না, যেমন In2-SnO2 টার্গেট ইত্যাদি। পাউডার উপাদান দিয়ে হট আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিংয়ের মাধ্যমে প্লেটের মতো টার্গেট তৈরি করা হয়, কিন্তু যেহেতু এগুলোর আকার বড় করা যায় না এবং এগুলো ভঙ্গুর, তাই ব্রেজিং পদ্ধতি এবং তামার ব্যাকপ্লেট ব্যবহার করে একত্রিত করে টার্গেট বেসে স্থাপন করা প্রয়োজন। ধাতব পাইপ ছাড়াও, স্তম্ভাকৃতির টার্গেটগুলো স্টেইনলেস স্টিলের পাইপের পৃষ্ঠে বিভিন্ন উপাদান, যেমন Si, Cr, ইত্যাদি, স্প্রে করে প্রলেপ দেওয়ার জন্যও ব্যবহার করা যেতে পারে।
বর্তমানে, শিল্প উৎপাদনে কোটিং-এর জন্য সিলিন্ড্রিক্যাল টার্গেটের অনুপাত বাড়ছে। সিলিন্ড্রিক্যাল টার্গেট শুধু ভার্টিকাল কোটিং মেশিনেই নয়, রোল-টু-রোল কোটিং মেশিনেও ব্যবহৃত হয়। সাম্প্রতিক বছরগুলিতে, প্ল্যানার টুইন টার্গেটগুলি ক্রমান্বয়ে সিলিন্ড্রিক্যাল টুইন টার্গেট দ্বারা প্রতিস্থাপিত হচ্ছে।
এই নিবন্ধটি গুয়াংডং ঝেনহুয়া টেকনোলজি কর্তৃক প্রকাশিত হয়েছে।অপটিক্যাল কোটিং মেশিনের প্রস্তুতকারক.
পোস্ট করার সময়: ১১-মে-২০২৩