1) సమతల టార్గెట్ల కంటే స్థూపాకార టార్గెట్లకు అధిక వినియోగ రేటు ఉంటుంది. కోటింగ్ ప్రక్రియలో, అది రోటరీ మాగ్నెటిక్ రకం అయినా లేదా రోటరీ ట్యూబ్ రకం స్థూపాకార స్పుటరింగ్ టార్గెట్ అయినా, టార్గెట్ ట్యూబ్ ఉపరితలం యొక్క అన్ని భాగాలు శాశ్వత అయస్కాంతం ముందు ఏర్పడిన స్పుటరింగ్ ప్రాంతం గుండా నిరంతరం ప్రయాణించి కాథోడ్ స్పుటరింగ్ను పొందుతాయి, మరియు టార్గెట్ ఏకరీతిగా స్పుటరింగ్ మరియు ఎచింగ్ చేయబడుతుంది, మరియు టార్గెట్ వినియోగ రేటు అధికంగా ఉంటుంది. టార్గెట్ పదార్థాల వినియోగ రేటు సుమారు 80%~90% ఉంటుంది.
2) స్థూపాకార టార్గెట్లపై “టార్గెట్ పాయిజనింగ్” సులభంగా ఏర్పడదు. కోటింగ్ ప్రక్రియ సమయంలో, టార్గెట్ ట్యూబ్ యొక్క ఉపరితలం ఎల్లప్పుడూ అయాన్ల ద్వారా స్పుటర్ చేయబడుతుంది మరియు ఎట్చ్ చేయబడుతుంది, మరియు ఉపరితలంపై మందపాటి ఆక్సైడ్లు మరియు ఇతర ఇన్సులేటింగ్ ఫిల్మ్లు పేరుకుపోవడం సులభం కాదు, అందువల్ల “టార్గెట్ పాయిజనింగ్” సులభంగా ఏర్పడదు.
3) రోటరీ టార్గెట్ ట్యూబ్ రకం స్థూపాకార స్పుటరింగ్ టార్గెట్ యొక్క నిర్మాణం సరళంగా ఉంటుంది మరియు అమర్చడం సులభం.
4) స్థూపాకార టార్గెట్ ట్యూబ్ మెటీరియల్లో వివిధ రకాలు ఉన్నాయి. మెటల్ టార్గెట్ను నేరుగా వాటర్ కూలింగ్తో సమతల టార్గెట్గా తయారు చేస్తారు, మరియు In2-SnO2 టార్గెట్ వంటి కొన్నింటిని ప్రాసెస్ చేసి స్థూపాకార టార్గెట్లుగా రూపొందించలేము. పొడి పదార్థంతో హాట్ ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్ ద్వారా పలకల వంటి టార్గెట్లను పొందుతారు, ఎందుకంటే వాటి పరిమాణాన్ని పెద్దగా తయారు చేయలేము మరియు అవి పెళుసుగా ఉంటాయి, కాబట్టి బ్రేజింగ్ పద్ధతిని మరియు రాగి బ్యాక్ప్లేట్ను ఉపయోగించి వాటిని ఏకీకృతం చేసి, ఆపై టార్గెట్ బేస్పై అమర్చడం అవసరం. మెటల్ పైపులతో పాటు, Si, Cr వంటి పూత పూయాల్సిన వివిధ పదార్థాలతో స్టెయిన్లెస్ స్టీల్ పైపుల ఉపరితలంపై కూడా స్థూపాకార టార్గెట్లను స్ప్రే చేయవచ్చు.
ప్రస్తుతం, పారిశ్రామిక ఉత్పత్తిలో కోటింగ్ కోసం ఉపయోగించే స్థూపాకార టార్గెట్ల నిష్పత్తి పెరుగుతోంది. స్థూపాకార టార్గెట్లను వర్టికల్ కోటింగ్ మెషీన్లోనే కాకుండా రోల్ టు రోల్ కోటింగ్ మెషీన్లో కూడా ఉపయోగిస్తారు. ఇటీవలి సంవత్సరాలలో, సమతల ట్విన్ టార్గెట్ల స్థానంలో క్రమంగా స్థూపాకార ట్విన్ టార్గెట్లు వస్తున్నాయి.
ఈ కథనాన్ని గ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా టెక్నాలజీ అనే సంస్థ విడుదల చేసింది.ఆప్టికల్ కోటింగ్ యంత్రాల తయారీదారు.
పోస్ట్ చేసిన సమయం: మే-11-2023