1) Mas mataas ang antas ng paggamit ng mga cylindrical target kaysa sa mga planar target. Sa proseso ng patong, maging ito man ay rotary magnetic type o rotary tube type cylindrical sputtering target, lahat ng bahagi ng ibabaw ng target tube ay patuloy na dumadaan sa sputtering area na nabuo sa harap ng permanent magnet upang tumanggap ng cathode sputtering, at ang target ay maaaring pantay na ma-etch gamit ang sputtering, at mataas ang antas ng paggamit ng target. Ang antas ng paggamit ng mga materyales ng target ay humigit-kumulang 80%~90%.
2) Ang mga cylindrical na target ay hindi madaling makagawa ng "target poisoning". Sa proseso ng patong, ang ibabaw ng target tube ay palaging nabubulok at nauukit ng mga ion, at hindi madaling maipon ang makapal na oxide at iba pang insulating film sa ibabaw, at hindi rin madaling makagawa ng "target poisoning".
3) Ang istraktura ng rotary target tube type cylindrical sputtering target ay simple at madaling i-install.
4) Ang materyal ng tubo ng target na silindro ay may iba't ibang uri. Ang planar na target ay may direktang pagpapalamig ng tubig sa metal na target, at ang ilan ay hindi maaaring iproseso at bumuo ng mga cylindrical na target, tulad ng In2-SnO2 na target, atbp. gamit ang materyal na pulbos para sa mainit na isostatic pressing upang makakuha ng mga target na parang plato, dahil ang laki ay hindi maaaring gawing malaki at malutong, kaya kinakailangang gumamit ng paraan ng pagpapatigas at tansong backplate upang maisama at pagkatapos ay mai-install sa base ng target. Bilang karagdagan sa mga tubo ng metal, ang mga columnar na target ay maaari ding i-spray sa ibabaw ng mga tubo ng hindi kinakalawang na asero na may iba't ibang materyales na kailangang pahiran, tulad ng Si, Cr, atbp.
Sa kasalukuyan, ang proporsyon ng mga cylindrical target para sa coating sa industriyal na produksyon ay tumataas. Ang mga cylindrical target ay hindi lamang ginagamit para sa vertical coating machine kundi ginagamit din sa roll-to-roll coating machine. Sa mga nakaraang taon, ang mga planar twin target ay unti-unting napapalitan ng mga Cylindrical twin target.
——Ang artikulong ito ay inilabas ng Guangdong Zhenhua Technology, isangtagagawa ng mga makinang pang-optical coating.
Oras ng pag-post: Mayo-11-2023