1) Zylindrische Targets weisen eine höhere Ausnutzungsrate als planare Targets auf. Beim Beschichtungsprozess, egal ob es sich um ein rotierendes Magnet- oder ein rotierendes Rohr-Sputtertarget handelt, durchläuft die gesamte Oberfläche des Targetrohrs kontinuierlich den vor dem Permanentmagneten erzeugten Sputterbereich und wird kathodisch gesputtert. Dadurch wird das Target gleichmäßig abgetragen und geätzt, was zu einer hohen Targetausnutzungsrate von etwa 80–90 % führt.
2) Zylindrische Targets sind nicht so anfällig für „Targetvergiftung“. Während des Beschichtungsprozesses wird die Oberfläche des Targetrohrs ständig durch Ionen gesputtert und geätzt, wodurch sich dicke Oxidschichten und andere isolierende Filme auf der Oberfläche nur schwer ansammeln und somit eine „Targetvergiftung“ vermieden wird.
3) Die Konstruktion des zylindrischen Sputtertargets vom Typ Rotationszielrohr ist einfach und leicht zu installieren.
4) Das Material für die zylindrischen Targetrohre ist vielfältig. Planare Targets werden aus Metall direkt mit Wasser gekühlt. Einige Materialien, wie z. B. In₂-SnO₂, lassen sich nicht zu zylindrischen Targets verarbeiten und werden mittels Heißisostatpressen zu plattenförmigen Targets verarbeitet. Da diese aufgrund ihrer geringen Größe und Sprödigkeit nicht zu großen Targets geformt werden können, ist ein Lötverfahren mit einer Kupferrückplatte erforderlich, um sie zu integrieren und anschließend auf dem Targetsockel zu montieren. Neben Metallrohren können säulenförmige Targets auch auf die Oberfläche von Edelstahlrohren aufgesprüht werden, wobei verschiedene Beschichtungsmaterialien wie Si, Cr usw. verwendet werden.
Derzeit steigt der Anteil zylindrischer Targets für Beschichtungszwecke in der industriellen Fertigung. Zylindrische Targets werden nicht nur in vertikalen Beschichtungsanlagen, sondern auch in Rolle-zu-Rolle-Beschichtungsanlagen eingesetzt. In den letzten Jahren werden planare Doppeltargets zunehmend durch zylindrische Doppeltargets ersetzt.
— Dieser Artikel wurde von Guangdong Zhenhua Technology veröffentlicht.Hersteller von optischen Beschichtungsmaschinen.
Veröffentlichungsdatum: 11. Mai 2023