חוט הטונגסטן מחומם לטמפרטורה גבוהה, והוא פולט אלקטרונים חמים ופולט זרם אלקטרונים בצפיפות גבוהה, ובמקביל מכוון אלקטרודה מאיץ כדי להאיץ את האלקטרונים החמים לזרם אלקטרונים בעל אנרגיה גבוהה. זרימת אלקטרונים בצפיפות גבוהה ואנרגיה גבוהה יכולה להיות בעלת יינון כלור רב יותר, יינון אטומי שכבת סרט המתכת מאפשר קבלת יוני כלור רבים יותר, מה שמשפר את קצב ההתזה, ובכך מגדיל את קצב השקיעה: יינון מתכת יכול להיות בעל שיפור בקצב יינון המתכת, מה שתורם לתגובת השקיעה של סרט המתכת; יוני שכבת הסרט המתכת מגיעים לחומר העבודה כדי לשפר את צפיפות הזרם של חומר העבודה, ובכך להגדיל את קצב השקיעה.
בציפוי קשיח של התזה מגנטרונית, צפיפות הזרם וארגון הסרט של חומר העבודה מוגברים בחזית ובאחורה של הקתודיזציה החמה. TiSiCN לפני הוספת קתודה חמה, צפיפות הזרם על חומר העבודה היא רק 0.2mA/mm2, לאחר העלייה בקתודה החמה ל-4.9mA/mm2, שווה ערך לעלייה של פי 24 בערך, וארגון הסרט צפוף יותר. ניתן לראות שבטכנולוגיית ציפוי התזה מגנטרונית, הוספת קתודה חמה יעילה מאוד בשיפור קצב שקיעת התזה מגנטרונית ופעילות חלקיקי הסרט. טכנולוגיה זו יכולה לשפר משמעותית את חיי להבי הטורבינה, בוכנות משאבת הבוץ וחלקי המטחנה.
–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה
זמן פרסום: 11 באוקטובר 2023