Volframþráðurinn er hitaður upp í hátt hitastig sem gefur frá sér heitar rafeindir til að gefa frá sér straum af háþéttni rafeinda, og á sama tíma er hröðunarrafskaut stillt til að flýta fyrir heitu rafeindunum í orkuríka rafeindastraum. Háþéttni og orkurík rafeindaflæði getur verið meira klórjónað og fleiri málmfilmuatóm jónuð til að fá fleiri klóríðjónir til að bæta spúttunarhraðann og þannig auka útfellingarhraðann: meiri málmjónun getur verið betri til að bæta málmjónunarhraðann, sem stuðlar að útfellingu efnasambandsins; málmfilmujónir ná til vinnustykkisins til að bæta straumþéttleika vinnustykkisins og þannig auka útfellingarhraðann.
Í hörðum húðunarbúnaði með segulspúttingu eykst straumþéttleiki og filmuskipan vinnustykkisins að framan og aftan við heita kaþóðunina. TiSiCN, áður en heitri katóðu er bætt við, er straumþéttleikinn á vinnustykkinu aðeins 0,2mA/mm2, eftir að heiti katóðunin er aukin í 4,9mA/mm2, sem jafngildir um 24-faldri aukningu, og filmuskipanin er þéttari. Það má sjá að í segulspúttunarhúðunartækni er viðbót heitrar katóðu mjög áhrifarík til að bæta útfellingarhraða segulspúttunar og virkni filmuagnanna. Þessi tækni getur aukið líftíma túrbínublaða, drulludælustimpla og kvörnhluta verulega.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 11. október 2023