Peralatan ini terutama menggunakan pengendapan uap kimia untuk menyiapkan film oksida, yang memiliki karakteristik laju pengendapan cepat dan kualitas film yang tinggi. Mengenai struktur peralatan, struktur pintu ganda digunakan untuk meningkatkan efisiensi penjepitan, dan sistem pasokan gas cair terbaru diadopsi untuk memastikan aliran yang stabil dan terkendali serta secara efektif memastikan stabilitas proses. Film yang disiapkan oleh peralatan memiliki penghalang uap air yang baik dan periode stabil yang lebih lama dalam uji didih.
Peralatan ini dapat diaplikasikan pada baja tahan karat, perangkat keras/komponen plastik berlapis elektro, kaca, keramik, dan material lainnya, seperti produk elektronik, manik lampu LED, perlengkapan medis, dan produk lain yang memerlukan ketahanan oksidasi. Film penghalang SiOx terutama disiapkan untuk secara efektif menghalangi uap air, mencegah korosi dan oksidasi, serta meningkatkan masa pakai produk.
| Model opsional | ukuran ruang dalam |
| ZHCVD1200 | Ukuran 1200 x Tinggi 1950 (mm) |