Սրտանոթային հիվանդությունների տեխնոլոգիայի տեսակները

Լայն առումով, ջերմաէմիսիոն թերապիան (CVD) կարելի է մոտավորապես բաժանել երկու տեսակի՝ մեկը հիմքի վրա միաբյուրեղային էպիտաքսիալ շերտի գոլորշու նստեցումն է, որը նեղ CVD է, մյուսը՝ հիմքի վրա բարակ թաղանթների նստեցումն է, ներառյալ բազմաբաղադրույք և ամորֆ թաղանթները: Ըստ օգտագործվող աղբյուրային գազերի տարբեր տեսակների, CVD-ն կարելի է բաժանել հալոգենային փոխադրման մեթոդի և մետաղ-օրգանական քիմիական գոլորշու նստեցման (MOCVD), առաջինը՝ հալոգենիդային որպես գազի աղբյուր, երկրորդը՝ մետաղ-օրգանական միացություններին որպես գազի աղբյուր: Ըստ ռեակցիայի խցիկում ճնշման, այն կարելի է բաժանել երեք հիմնական տեսակի՝ մթնոլորտային ճնշման CVD (APCVD), ցածր ճնշման CVD (LPCVD) և գերբարձր վակուումային CVD (UHV/CVD): CVD-ն կարող է նաև օգտագործվել որպես էներգիայի ուժեղացված օժանդակ մեթոդ, և այսօր տարածված մեթոդներից են պլազմայով ուժեղացված CVD-ն (PECVD) և լույսով ուժեղացված CVD-ն (PCVD) և այլն: CVD-ն, ըստ էության, գազային փուլի նստեցման մեթոդ է:

ՀԴՎ-ն, ըստ էության, թաղանթագոյացման մեթոդ է, որի դեպքում գազային փուլի նյութը բարձր ջերմաստիճանում քիմիապես ռեակցիայի է ենթարկվում՝ առաջացնելով պինդ նյութ, որը նստեցվում է հիմքի վրա: Մասնավորապես, ցնդող մետաղական հալոգենիդները կամ մետաղական օրգանական միացությունները խառնվում են կրող գազի հետ, ինչպիսիք են H-ը, Ar-ը կամ N-ը, ապա հավասարաչափ տեղափոխվում են բարձր ջերմաստիճանի հիմքի վրա ռեակցիայի խցիկում՝ հիմքի վրա բարակ թաղանթ առաջացնելու համար քիմիական ռեակցիայի միջոցով: Անկախ ՀԴՎ-ի տեսակից, նստեցումը հաջողությամբ կարող է իրականացվել, պետք է համապատասխանի հետևյալ հիմնական պայմաններին. նախ, նստեցման ջերմաստիճանում ռեակտիվ նյութերը պետք է ունենան բավականաչափ բարձր գոլորշու ճնշում. երկրորդ, ռեակցիայի արգասիքը՝ պինդ վիճակի համար ցանկալի նստվածքից բացի, մնացած գազային վիճակում է. երրորդ, նստվածքն ինքնին պետք է լինի բավականաչափ ցածր գոլորշու ճնշում՝ ապահովելու համար, որ նստեցման ռեակցիայի գործընթացը կարողանա պահպանվել տաքացված հիմքի վրա ամբողջ գործընթացում. չորրորդ, հիմքի նյութը հավասարաչափ տեղափոխվում է հիմքի վրա գտնվող ռեակցիայի խցիկ՝ քիմիական ռեակցիայի միջոցով՝ բարակ թաղանթ առաջացնելու համար: չորրորդ, հիմքի նյութի գոլորշու ճնշումը ինքնին նույնպես պետք է բավականաչափ ցածր լինի նստեցման ջերմաստիճանում:

- Այս հոդվածը հրապարակվել է byվակուումային ծածկույթների մեքենայի արտադրողԳուանդուն Չժենհուա