A berendezés főként kémiai gőzfázisú leválasztást alkalmaz az oxidfilm előállítására, amely gyors lerakódási sebességgel és kiváló filmminőséggel rendelkezik. Ami a berendezés szerkezetét illeti, a dupla ajtós szerkezetet használják a befogási hatékonyság javítására, és a legújabb folyékony gázellátó rendszert alkalmazzák a stabil és szabályozható áramlás biztosítására, valamint a folyamat stabilitásának hatékony biztosítására. A berendezés által készített film jó vízgőzzáró képességgel és hosszabb stabilitási idővel rendelkezik a forráspontvizsgálat során.
A berendezés rozsdamentes acélra, galvanizált hardver/műanyag alkatrészekre, üvegre, kerámiára és más anyagokra, például elektronikai termékekre, LED-es fénygyöngyökre, orvosi eszközökre és egyéb, oxidációállóságot igénylő termékekre alkalmazható. A SiOx zárófólia elsősorban a vízgőz hatékony blokkolására, a korrózió és az oxidáció megelőzésére, valamint a termék élettartamának javítására szolgál.
| Opcionális modellek | belső kamra mérete |
| ZHCVD1200 | φ1200 * H1950 (mm) |