A volfrámszálat magas hőmérsékletre hevítik, amely forró elektronokat bocsát ki, nagy sűrűségű elektronáramot hozva létre, és ezzel egyidejűleg egy gyorsító elektródát helyeznek el, amely a forró elektronokat nagy energiájú elektronáramba gyorsítja. A nagy sűrűségű, nagy energiájú elektronáram fokozhatja a klórionizációt, több fémréteg-atom ionizálódhat, így több kloridiont kapva, ami javítja a porlasztási sebességet, ezáltal növelve a lerakódási sebességet: a nagyobb fémionizáció javíthatja a fémionizációs sebességet, ami elősegíti a vegyületréteg lerakódásának reakcióját; a fémréteg-ionok eljuthatnak a munkadarabhoz, javítva a munkadarab áramsűrűségét, ezáltal növelve a lerakódási sebességet.
A magnetronos porlasztásos kemény bevonatnál a munkadarab elülső és hátsó részének áramsűrűsége és filmszerkezete megnő. A forró katód hozzáadása előtt a TiSiCN a munkadarabon lévő áramsűrűség mindössze 0,2 mA/mm2, a forró katód 4,9 mA/mm2-re történő növelése után pedig körülbelül 24-szeres növekedésnek felel meg, és a filmszerkezet sűrűbb. Látható, hogy a magnetronos porlasztásos bevonatolási technológiában a forró katód hozzáadása nagyon hatékonyan javítja a magnetronos porlasztásos lerakódási sebességet és a filmrészecskék aktivitását. Ez a technológia jelentősen javíthatja a turbinalapátok, iszapszivattyú-dugattyúk és darálóalkatrészek élettartamát.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2023. október 11.