Volframova nit se zagrijava na visoku temperaturu koja emitira vruće elektrone i emitira elektronski tok visoke gustoće, a istovremeno se postavlja akcelerirajuća elektroda koja ubrzava vruće elektrone u elektronski tok visoke energije. Elektronski tok visoke gustoće i visoke energije može uzrokovati veću ionizaciju klora, ioniziranje više atoma metalnog filma kako bi se dobilo više kloridnih iona i poboljšala brzina raspršivanja, čime se povećava brzina taloženja: veća ionizacija metala može poboljšati brzinu ionizacije metala, što pogoduje reakciji taloženja složenog filma; ioni metalnog filma dopiru do obratka kako bi se poboljšala gustoća struje obratka, čime se povećava brzina taloženja.
Kod tvrdog premaza magnetronskim raspršivanjem, povećanje gustoće struje i organizacije filma na prednjoj i stražnjoj strani obratka vrućom katodizacijom. Prije dodavanja vruće katode TiSiCN, gustoća struje na obratku je samo 0,2 mA/mm2, nakon povećanja vruće katode na 4,9 mA/mm2, što je ekvivalentno povećanju od oko 24 puta, a organizacija filma je gušća. Može se vidjeti da je u tehnologiji magnetronskog raspršivanja premaza, dodavanje vruće katode vrlo učinkovito u poboljšanju brzine magnetronskog raspršivanja i aktivnosti čestica filma. Ova tehnologija može značajno poboljšati vijek trajanja lopatica turbina, klipova pumpi za isplaku i dijelova brusilice.
–Ovaj članak objavljujeproizvođač strojeva za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 11. listopada 2023.