टंगस्टन फिलामेंट को उच्च तापमान पर गर्म किया जाता है जो उच्च घनत्व वाले इलेक्ट्रॉन स्ट्रीम को उत्सर्जित करने के लिए गर्म इलेक्ट्रॉनों को उत्सर्जित करता है, और साथ ही एक त्वरित इलेक्ट्रोड को गर्म इलेक्ट्रॉनों को उच्च ऊर्जा इलेक्ट्रॉन स्ट्रीम में त्वरित करने के लिए सेट किया जाता है। उच्च घनत्व, उच्च ऊर्जा इलेक्ट्रॉन प्रवाह अधिक क्लोरीन आयनीकरण हो सकता है, अधिक धातु फिल्म परत परमाणुओं को स्पटरिंग दर में सुधार करने के लिए अधिक क्लोराइड आयन प्राप्त करने के लिए आयनित किया जा सकता है, जिससे जमा दर में वृद्धि होती है: धातु आयनीकरण दर में सुधार करने के लिए अधिक धातु आयनीकरण हो सकता है, यौगिक फिल्म के जमाव की प्रतिक्रिया के लिए अनुकूल; धातु फिल्म परत आयनों को वर्कपीस तक पहुंचने के लिए वर्कपीस की वर्तमान घनत्व में सुधार करने के लिए, जिससे जमा दर में वृद्धि होती है।
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग हार्ड कोटिंग में, हॉट कैथोडाइजिंग के सामने और पीछे के वर्कपीस के करंट डेंसिटी और फिल्म संगठन में वृद्धि होती है। हॉट कैथोड के जुड़ने से पहले TiSiCN, वर्कपीस पर करंट डेंसिटी केवल 0.2mA/mm2 है, हॉट कैथोड में 4.9mA/mm2 की वृद्धि के बाद, जो 24 गुना या उससे अधिक की वृद्धि के बराबर है, और फिल्म संगठन अधिक घना है। यह देखा जा सकता है कि मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग तकनीक में, मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग डिपोजिशन दर और फिल्म कणों की गतिविधि में सुधार करने में हॉट कैथोड का जोड़ बहुत प्रभावी है। यह तकनीक टर्बाइन ब्लेड, मड पंप प्लंजर और ग्राइंडर भागों के जीवन में काफी सुधार कर सकती है।
-यह लेख द्वारा जारी किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ
पोस्ट करने का समय: अक्टूबर-11-2023