આ સાધનો મુખ્યત્વે ઓક્સાઇડ ફિલ્મ તૈયાર કરવા માટે રાસાયણિક વરાળ નિક્ષેપણનો ઉપયોગ કરે છે, જેમાં ઝડપી નિક્ષેપણ દર અને ઉચ્ચ ફિલ્મ ગુણવત્તાની લાક્ષણિકતાઓ છે. સાધનોની રચનાની વાત કરીએ તો, ક્લેમ્પિંગ કાર્યક્ષમતા સુધારવા માટે ડબલ ડોર સ્ટ્રક્ચરનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે, અને સ્થિર અને નિયંત્રિત પ્રવાહ સુનિશ્ચિત કરવા અને પ્રક્રિયા સ્થિરતાને અસરકારક રીતે સુનિશ્ચિત કરવા માટે નવીનતમ પ્રવાહી ગેસ સપ્લાય સિસ્ટમ અપનાવવામાં આવે છે. સાધનો દ્વારા તૈયાર કરાયેલ ફિલ્મમાં સારી પાણીની વરાળ અવરોધ અને ઉકળતા પરીક્ષણમાં લાંબા સમય સુધી સ્થિર સમયગાળો હોય છે.
આ સાધનો સ્ટેનલેસ સ્ટીલ, ઇલેક્ટ્રોપ્લેટેડ હાર્ડવેર / પ્લાસ્ટિકના ભાગો, કાચ, સિરામિક્સ અને અન્ય સામગ્રી, જેમ કે ઇલેક્ટ્રોનિક ઉત્પાદનો, LED લાઇટ બીડ્સ, તબીબી પુરવઠો અને ઓક્સિડેશન પ્રતિકારની જરૂર હોય તેવા અન્ય ઉત્પાદનો પર લાગુ કરી શકાય છે. SiOx અવરોધ ફિલ્મ મુખ્યત્વે પાણીની વરાળને અસરકારક રીતે અવરોધિત કરવા, કાટ અને ઓક્સિડેશન અટકાવવા અને ઉત્પાદન જીવન સુધારવા માટે તૈયાર કરવામાં આવે છે.
| વૈકલ્પિક મોડેલો | આંતરિક ચેમ્બરનું કદ |
| ઝેડએચસીવીડી1200 | φ૧૨૦૦*H૧૯૫૦(મીમી) |