સીવીડી ટેકનોલોજીના પ્રકારો

વ્યાપક રીતે કહીએ તો, CVD ને આશરે બે પ્રકારમાં વિભાજિત કરી શકાય છે: એક સિંગલ-ક્રિસ્ટલ એપિટેક્સિયલ લેયરના સબસ્ટ્રેટ વરાળ ડિપોઝિશન પર સિંગલ પ્રોડક્ટમાં છે, જે સાંકડી રીતે CVD છે; બીજો સબસ્ટ્રેટ પર પાતળા ફિલ્મોનું ડિપોઝિશન છે, જેમાં બહુ-ઉત્પાદન અને આકારહીન ફિલ્મોનો સમાવેશ થાય છે. ઉપયોગમાં લેવાતા વિવિધ પ્રકારના સ્ત્રોત વાયુઓ અનુસાર, CVD ને હેલોજન ટ્રાન્સપોર્ટ મેથડ અને મેટલ-ઓર્ગેનિક કેમિકલ વરાળ ડિપોઝિશન (MOCVD) માં વિભાજિત કરી શકાય છે, જે ગેસ સ્ત્રોત તરીકે હલાઇડ કરવા માટે છે, બાદમાં ગેસ સ્ત્રોત તરીકે મેટલ-ઓર્ગેનિક સંયોજનોમાં છે. પ્રતિક્રિયા ચેમ્બરમાં દબાણ અનુસાર, તેને ત્રણ મુખ્ય પ્રકારોમાં વિભાજિત કરી શકાય છે: વાતાવરણીય દબાણ CVD (APCVD), લો પ્રેશર CVD (LPCVD) અને અલ્ટ્રા-હાઇ વેક્યુમ CVD (UHV/CVD).CVD નો ઉપયોગ ઉર્જા-ઉન્નત સહાયક પદ્ધતિ તરીકે પણ થઈ શકે છે, અને આજકાલ સામાન્ય પદ્ધતિઓમાં પ્લાઝ્મા-ઉન્નત CVD (PECVD) અને પ્રકાશ-ઉન્નત CVD (PCVD), વગેરેનો સમાવેશ થાય છે. CVD એ મૂળભૂત રીતે ગેસ-ફેઝ ડિપોઝિશન પદ્ધતિ છે.

CVD એ મૂળભૂત રીતે ફિલ્મ-રચના પદ્ધતિ છે જેમાં ગેસ-ફેઝ પદાર્થને ઉચ્ચ તાપમાને રાસાયણિક રીતે પ્રતિક્રિયા આપીને સબસ્ટ્રેટ પર જમા થયેલ ઘન પદાર્થ ઉત્પન્ન કરવામાં આવે છે. ખાસ કરીને, અસ્થિર ધાતુના હલાઇડ્સ અથવા ધાતુના કાર્બનિક સંયોજનોને H, Ar, અથવા N જેવા વાહક ગેસ સાથે મિશ્રિત કરવામાં આવે છે, અને પછી રાસાયણિક પ્રતિક્રિયા દ્વારા સબસ્ટ્રેટ પર પાતળી ફિલ્મ બનાવવા માટે પ્રતિક્રિયા ચેમ્બરમાં ઉચ્ચ-તાપમાન સબસ્ટ્રેટમાં સમાનરૂપે પરિવહન કરવામાં આવે છે. CVD ગમે તે પ્રકારનો હોય, ડિપોઝિશન સફળતાપૂર્વક હાથ ધરવામાં આવી શકે છે તે નીચેની મૂળભૂત શરતોને પૂર્ણ કરે છે: પ્રથમ, ડિપોઝિશન તાપમાનમાં, રિએક્ટન્ટ્સનું પૂરતું ઊંચું વરાળ દબાણ હોવું જોઈએ; બીજું, પ્રતિક્રિયા ઉત્પાદન, ઘન સ્થિતિ માટે ઇચ્છિત ડિપોઝિટ ઉપરાંત, બાકીની વાયુ સ્થિતિ; ત્રીજું, ડિપોઝિટ પોતે પૂરતું ઓછું વરાળ દબાણ હોવું જોઈએ જેથી ડિપોઝિટ પ્રતિક્રિયા પ્રક્રિયા ગરમ સબસ્ટ્રેટની સમગ્ર પ્રક્રિયામાં રાખી શકાય; ચોથું, સબસ્ટ્રેટ સામગ્રીને સબસ્ટ્રેટ પર પ્રતિક્રિયા ચેમ્બરમાં સમાનરૂપે પરિવહન કરવામાં આવે છે, રાસાયણિક પ્રતિક્રિયા દ્વારા પાતળી ફિલ્મ બનાવવા માટે. ચોથું, સબસ્ટ્રેટ સામગ્રીનું વરાળ દબાણ પણ ડિપોઝિટ તાપમાન પર પૂરતું ઓછું હોવું જોઈએ.

- આ લેખ પ્રકાશિત થયો છે byવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદકગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ