ટંગસ્ટન ફિલામેન્ટને ઊંચા તાપમાને ગરમ કરવામાં આવે છે જે ગરમ ઇલેક્ટ્રોન ઉત્સર્જન કરે છે જેથી ઉચ્ચ-ઘનતા ઇલેક્ટ્રોન પ્રવાહ ઉત્સર્જિત થાય છે, અને તે જ સમયે એક પ્રવેગક ઇલેક્ટ્રોડ ગરમ ઇલેક્ટ્રોનને ઉચ્ચ-ઊર્જા ઇલેક્ટ્રોન પ્રવાહમાં વેગ આપવા માટે સેટ કરવામાં આવે છે. ઉચ્ચ-ઘનતા, ઉચ્ચ-ઊર્જા ઇલેક્ટ્રોન પ્રવાહ વધુ ક્લોરિન આયનીકરણ, વધુ મેટલ ફિલ્મ સ્તર પરમાણુઓને આયનીકરણ દ્વારા વધુ ક્લોરાઇડ આયન મેળવવા માટે સ્પુટરિંગ દરમાં સુધારો કરી શકાય છે, જેનાથી ડિપોઝિશન દરમાં વધારો થાય છે: મેટલ આયનીકરણ દરને સુધારવા માટે વધુ મેટલ આયનીકરણ દ્વારા વધુ કરી શકાય છે, જે સંયોજન ફિલ્મના ડિપોઝિશનની પ્રતિક્રિયા માટે અનુકૂળ છે; મેટલ ફિલ્મ સ્તર આયનો વર્કપીસ સુધી પહોંચે છે જેથી વર્કપીસની વર્તમાન ઘનતામાં સુધારો થાય છે, જેનાથી ડિપોઝિશન દરમાં વધારો થાય છે.
મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ હાર્ડ કોટિંગમાં, હોટ કેથોડાઇઝિંગના આગળ અને પાછળના વર્કપીસના કરંટ ઘનતા અને ફિલ્મ સંગઠનમાં વધારો થાય છે. ગરમ કેથોડ ઉમેરાતા પહેલા TiSiCN, ગરમ કેથોડ 4.9mA/mm2 સુધી વધ્યા પછી વર્કપીસ પર કરંટ ઘનતા માત્ર 0.2mA/mm છે, જે 24 ગણા વધારા જેટલું છે, અને ફિલ્મ સંગઠન વધુ ઘન છે. તે જોઈ શકાય છે કે મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ કોટિંગ ટેકનોલોજીમાં, હોટ કેથોડનો ઉમેરો મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ ડિપોઝિશન રેટ અને ફિલ્મ કણોની પ્રવૃત્તિને સુધારવામાં ખૂબ અસરકારક છે. આ ટેકનોલોજી ટર્બાઇન બ્લેડ, મડ પંપ પ્લંગર્સ અને ગ્રાઇન્ડર ભાગોના જીવનને નોંધપાત્ર રીતે સુધારી શકે છે.
- આ લેખ પ્રકાશિત થયો છેવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદકગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ
પોસ્ટ સમય: ઓક્ટોબર-૧૧-૨૦૨૩