San fharsaingeachd, faodar CVD a roinn gu garbh ann an dà sheòrsa: is e aon dhiubh tasgadh smùid aon-chriostail air an t-substrate le aon toradh, is e sin CVD gu cumhang; is e am fear eile tasgadh fhilmichean tana air an t-substrate, a’ gabhail a-steach filmichean ioma-thoraidh agus filmichean neo-chruthach. A rèir nan diofar sheòrsaichean gasaichean stòr a thathas a’ cleachdadh, faodar CVD a roinn ann an dòigh còmhdhail halogen agus tasgadh smùid ceimigeach meatailt-organach (MOCVD), leis a’ chiad fhear a’ cleachdadh halogen mar thùs gas, agus an tè mu dheireadh a’ cleachdadh todhar meatailt-organach mar thùs gas. A rèir a’ chuideam anns an t-seòmar ath-bhualadh, faodar a roinn ann an trì prìomh sheòrsaichean: CVD cuideam àile (APCVD), CVD cuideam ìosal (LPCVD) agus CVD falamh ultra-àrd (UHV/CVD). Faodar CVD a chleachdadh cuideachd mar dhòigh taice leasaichte le lùth, agus an-diugh tha CVD leasaichte le plasma (PECVD) agus CVD leasaichte le solas (PCVD), msaa. Gu bunaiteach, is e dòigh tasgadh ìre-gas a th’ ann an CVD.
Gu bunaiteach, 's e dòigh-obrach cruthachadh film a th' ann an CVD anns a bheil stuth ìre-gas air ath-bhualadh gu ceimigeach aig teòthachd àrd gus stuth cruaidh a thoirt gu buil a thèid a thasgadh air fo-strat. Gu sònraichte, bidh halidean meatailt luaineach no todhar organach meatailt air am measgachadh le gas giùlain leithid H2, Ar, no N2, agus an uairsin air an giùlan gu cothromach gu fo-strat àrd-teodhachd ann an seòmar ath-bhualadh gus film tana a chruthachadh air an fho-strat tro ath-bhualadh ceimigeach. Ge bith dè an seòrsa CVD a th' ann, feumaidh tasgadh a dhèanamh gu soirbheachail coinneachadh ris na cumhaichean bunaiteach a leanas: An toiseach, aig teòthachd an tasgaidh, feumaidh cuideam smùid àrd gu leòr a bhith aig na luchd-freagairt; San dàrna àite, feumaidh an toradh ath-bhualadh, a bharrachd air an tasgadh a tha thu ag iarraidh airson an staid chruaidh, an còrr den staid gasach; San treas àite, bu chòir cuideam smùid ìosal gu leòr a bhith aig an tasgadh fhèin gus dèanamh cinnteach gum faodar am pròiseas ath-bhualadh tasgaidh a chumail sa phròiseas iomlan den fho-strat teasachaidh; San ceathramh àite, tha an stuth fo-strat air a ghiùlan gu cothromach chun t-seòmar ath-bhualadh air an fho-strat, tron ath-bhualadh ceimigeach gus film tana a chruthachadh. San ceathramh àite, bu chòir cuideam smùid an stuth fo-strat fhèin a bhith ìosal gu leòr aig teòthachd an tasgaidh cuideachd.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh byneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 4 Cèitean 2024