Tha am filament tungsten air a theasachadh gu teòthachd àrd a bhios a’ leigeil a-mach dealanan teth gus sruth dealan àrd-dùmhlachd a leigeil a-mach, agus aig an aon àm tha dealan luathachaidh air a shuidheachadh gus na dealanan teth a luathachadh gu bhith nan sruth dealan àrd-lùtha. Faodaidh sruthadh dealan àrd-dùmhlachd, àrd-lùth barrachd ianachadh clòirin a bhith ann, barrachd ataman sreath film meatailt air an ianachadh gus barrachd ianan clòirid fhaighinn gus an ìre sputtering a leasachadh, agus mar sin an ìre tasgadh a mheudachadh: faodaidh barrachd ianachadh meatailt a bhith ann gus an ìre ianachadh meatailt a leasachadh, a chuidicheas le ath-bhualadh tasgadh film co-thàthaichte; bidh ianan sreath film meatailt a’ ruighinn a’ phìos obrach gus dùmhlachd gnàthach a’ phìos obrach a leasachadh, agus mar sin an ìre tasgadh a mheudachadh.
Anns a’ chòmhdach chruaidh sputtering magnetron, bidh dùmhlachd an t-sruth agus eagrachadh film aghaidh is cùl a’ phìos-obrach a’ dol am meud nuair a thèid catod teth a chur ris. Mus tèid catod teth a chur ris, chan eil dùmhlachd an t-sruth air a’ phìos-obrach ach 0.2mA/mm2 aig TiSiCN, agus às dèidh àrdachadh anns a’ chatod teth gu 4.9mA/mm2, a tha co-ionann ri àrdachadh de mu 24 uiread, agus tha eagrachadh an fhilm nas dùmhaile. Chithear, ann an teicneòlas còmhdach sputtering magnetron, gu bheil cur catod teth ris gu math èifeachdach ann a bhith a’ leasachadh ìre tasgadh sputtering magnetron agus gnìomhachd mìrean an fhilm. Faodaidh an teicneòlas seo beatha lannan roth-uidheam, plugairean pumpa eabar, agus pàirtean bleith a leasachadh gu mòr.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 11 Dàmhair 2023