Go ginearálta, is féidir CVD a roinnt go garbh ina dhá chineál: ceann amháin is ea taisceadh gaile aonchriostail aonair ar an tsubstráit, arb é CVD go cúng é; an ceann eile is ea taisceadh scannán tanaí ar an tsubstráit, lena n-áirítear scannáin iltáirgí agus scannáin neamhchruthacha. De réir na gcineálacha éagsúla gás foinse a úsáidtear, is féidir CVD a roinnt ina mhodh iompair halaigine agus taisceadh gaile ceimiceach miotail-orgánach (MOCVD), an chéad cheann le halaigine mar fhoinse gáis, an dara ceann le comhdhúile miotail-orgánacha mar fhoinse gáis. De réir an bhrú sa seomra imoibrithe, is féidir é a roinnt ina thrí phríomhchineál: CVD brú atmaisféarach (APCVD), CVD ísealbhrú (LPCVD) agus CVD folúis ultra-ard (UHV/CVD). Is féidir CVD a úsáid freisin mar mhodh cúnta feabhsaithe fuinnimh, agus sa lá atá inniu ann tá CVD feabhsaithe plasma (PECVD) agus CVD feabhsaithe solais (PCVD), etc. Is modh taisceadh céim gháis é CVD go bunúsach.
Is modh foirmithe scannáin é CVD go bunúsach ina ndéantar imoibriú ceimiceach ar shubstaint i gcéim gháis ag teocht ard chun substaint sholadach a tháirgeadh a thaisctear ar shubstráit. Go sonrach, measctar halaídí miotail so-ghalaithe nó comhdhúile orgánacha miotail le gás iompróra amhail H₂, Ar, nó N₂, agus ansin iompraítear go haonfhoirmeach iad chuig substráit ardteochta i seomra imoibrithe chun scannán tanaí a fhoirmiú ar an tsubstráit trí imoibriú ceimiceach. Is cuma cén cineál CVD atá i gceist, ní mór na coinníollacha bunúsacha seo a leanas a chomhlíonadh le haghaidh taiscthe rathúil: Ar dtús, ag teocht an taiscthe, ní mór brú gaile ard go leor a bheith ag na himoibrithe; Ar an dara dul síos, ní mór don táirge imoibrithe, sa bhreis ar an taiscthe atá ag teastáil don staid sholadaigh, an chuid eile den staid ghásach; Ar an tríú dul síos, ba chóir go mbeadh brú gaile íseal go leor ag an taiscthe féin chun a chinntiú gur féidir an próiseas imoibrithe taiscthe a choinneáil i bpróiseas iomlán an tsubstráit théite; Ar an gceathrú dul síos, iompraítear an t-ábhar substráit go haonfhoirmeach chuig an seomra imoibrithe ar an tsubstráit, tríd an imoibriú ceimiceach chun scannán tanaí a fhoirmiú. Ar an gceathrú dul síos, ba chóir go mbeadh brú gaile an ábhair substráit féin íseal go leor ag teocht an taiscthe freisin.
–Tá an t-alt seo eisithe bymonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua
Am an phoist: Bealtaine-04-2024