Yn 't algemien kin CVD rûchwei yn twa typen ferdield wurde: ien is de dampôfsetting fan in ienkristalline epitaksiale laach op it substraat troch ien produkt, wat smel CVD is; de oare is de ôfsetting fan tinne films op it substraat, ynklusyf multiprodukt- en amorfe films. Neffens de ferskate soarten brûkte boarnegassen kin CVD wurde ferdield yn halogeentransportmetoade en metaal-organyske gemyske dampôfsetting (MOCVD), wêrby't de earste halogenide as gasboarne brûkt, de lêste metaal-organyske ferbiningen as gasboarne. Neffens de druk yn 'e reaksjekeamer kin it wurde ferdield yn trije haadtypen: atmosfearyske druk CVD (APCVD), lege druk CVD (LPCVD) en ultra-hege fakuüm CVD (UHV/CVD). CVD kin ek brûkt wurde as in enerzjyferbettere helpmetoade, en tsjintwurdich binne de gewoane metoaden plasma-ferbettere CVD (PECVD) en ljocht-ferbettere CVD (PCVD), ensfh. CVD is yn essinsje in gasfaze-ôfsettingsmetoade.
CVD is yn essinsje in filmfoarmingsmetoade wêrby't in gasfaze-substân gemysk reagearre wurdt by hege temperatuer om in fêste stof te produsearjen dy't op in substraat ôfset wurdt. Spesifyk wurde flechtige metaalhalogeniden of metaalorganyske ferbiningen mingd mei in dragergas lykas H₂, Ar of N₂, en dan unifoarm ferfierd nei in hege-temperatuersubstraat yn in reaksjekeamer om in tinne film op it substraat te foarmjen fia in gemyske reaksje. It makket net út hokker type CVD, ôfsetting mei súkses útfierd wurde kin, moat oan de folgjende basisbetingsten foldwaan: Earst moatte de reaktanten by de ôfsettingstemperatuer in foldwaande hege dampdruk hawwe; Twadde moat it reaksjeprodukt, neist de winske ôfsetting foar de fêste steat, de rest fan 'e gasfoarmige steat hawwe; Tredde moat de ôfsetting sels in foldwaande lege dampdruk hawwe om te soargjen dat it ôfsettingsreaksjeproses yn it heule proses fan it ferwaarme substraat hâlden wurde kin; Fjirde moat it substraatmateriaal unifoarm ferfierd wurde nei de reaksjekeamer op it substraat, troch de gemyske reaksje om in tinne film te foarmjen. Fjirde moat de dampdruk fan it substraatmateriaal sels ek leech genôch wêze by de ôfsettingstemperatuer.
– Dit artikel is útbrocht byfabrikant fan fakuümcoatingmasinesGuangdong Zhenhua
Pleatsingstiid: maaie-04-2024