De wolfraamfilament wurdt ferwaarme ta in hege temperatuer dy't hjitte elektroanen útstjit om in hege-tichtens elektroanenstream út te stjoeren, en tagelyk wurdt in fersnellende elektrode ynsteld om de hjitte elektroanen te fersnellen ta in hege-enerzjy elektroanenstream. Hege-tichtens, hege-enerzjy elektroanenstream kin mear chloorionisaasje, mear metaalfilmlaachatomen ionisearre wurde om mear chloride-ionen te krijen om de sputtersnelheid te ferbetterjen, wêrtroch de ôfsettingssnelheid tanimt: mear metaalionisaasje kin de metaalionisaasjesnelheid ferbetterje, wat bydraacht oan de reaksje fan 'e ôfsetting fan' e gearstalde film; metaalfilmlaachionen berikke it wurkstik om de stroomtichtens fan it wurkstik te ferbetterjen, wêrtroch de ôfsettingssnelheid tanimt.
Yn 'e hurde coating fan magnetronsputtering nimt de stroomtichtens en filmorganisaasje fan it wurkstik foar en efter de hjitte katodisaasje ta. TiSiCN foar de tafoeging fan hjitte katode is de stroomtichtens op it wurkstik mar 0.2mA/mm2, nei de tanimming fan 'e hjitte katode nei 4.9mA/mm2, wat lykweardich is oan in tanimming fan sawat 24 kear, en de filmorganisaasje is tichter. It kin sjoen wurde dat yn magnetronsputteringcoatingtechnology de tafoeging fan in hjitte katode tige effektyf is yn it ferbetterjen fan 'e magnetronsputterdeposysjesnelheid en de aktiviteit fan 'e filmdieltsjes. Dizze technology kin de libbensduur fan turbineblêden, modderpompplunjers en slypûnderdielen signifikant ferbetterje.
– Dit artikel wurdt útjûn trochfabrikant fan fakuümcoatingmasinesGuangdong Zhenhua
Pleatsingstiid: 11 oktober 2023