این تجهیزات عمدتاً از رسوب بخار شیمیایی برای تهیه فیلم اکسید استفاده میکنند که دارای ویژگیهای سرعت رسوب سریع و کیفیت بالای فیلم است. در مورد ساختار تجهیزات، از ساختار دو درب برای بهبود راندمان گیره استفاده میشود و جدیدترین سیستم تأمین گاز مایع برای اطمینان از جریان پایدار و قابل کنترل و تضمین مؤثر پایداری فرآیند اتخاذ شده است. فیلم تهیه شده توسط این تجهیزات دارای مانع بخار آب خوب و دوره پایداری طولانیتر در آزمایش جوش است.
این تجهیزات را میتوان روی فولاد ضد زنگ، قطعات فلزی/پلاستیکی آبکاری شده، شیشه، سرامیک و سایر مواد مانند محصولات الکترونیکی، مهرههای نوری LED، لوازم پزشکی و سایر محصولاتی که نیاز به مقاومت در برابر اکسیداسیون دارند، اعمال کرد. فیلم محافظ SiOx عمدتاً برای جلوگیری موثر از بخار آب، جلوگیری از خوردگی و اکسیداسیون و بهبود عمر محصول تهیه میشود.
| مدلهای اختیاری | اندازه محفظه داخلی |
| ZHCVD1200 | φ1200 * H1950 (میلی متر) |