ZHCVD1200

Seadmed kasutavad oksiidkile valmistamiseks peamiselt keemilist aurustamist, millel on kiire sadestamiskiirus ja kõrge kilekvaliteet. Seadme konstruktsiooni osas kasutatakse kinnitustõhususe parandamiseks topeltuksestruktuuri ning stabiilse ja kontrollitava voolu tagamiseks ning protsessi stabiilsuse tõhusaks tagamiseks kasutatakse uusimat vedelgaasivarustussüsteemi. Seadme abil valmistatud kilel on hea veeaurutõke ja see püsib keemistesti ajal kauem stabiilsena.
Seadmeid saab kasutada roostevaba terase, galvaaniliselt kaetud riistvara/plastdetailide, klaasi, keraamika ja muude materjalide, näiteks elektroonikaseadmete, LED-valguspärlite, meditsiinitarvete ja muude toodete puhul, mis vajavad oksüdatsioonikindlust. SiOx tõkkekile on peamiselt ette nähtud veeauru tõhusaks blokeerimiseks, korrosiooni ja oksüdatsiooni vältimiseks ning toote eluea pikendamiseks.