Volframniit kuumutatakse kõrge temperatuurini, mis kiirgab kuumi elektrone, tekitades suure tihedusega elektronvoo, ja samal ajal seatakse kiirenduselektrood kuumade elektronide kiirendamiseks suure energiaga elektronvooks. Suure tihedusega ja suure energiaga elektronvoog võib suurendada kloori ionisatsiooni, ioniseerida rohkem metallkile kihi aatomeid, et saada rohkem kloriidioone ja parandada pihustuskiirust, suurendades seeläbi sadestumiskiirust: suurem metalli ionisatsioon võib parandada metalli ionisatsioonikiirust, soodustades ühendkile sadestumisreaktsiooni; metallkile kihi ioonid jõuavad töödeldavale detailile, parandades töödeldava detaili voolutihedust ja suurendades seeläbi sadestumiskiirust.
Magnetronpihustamise kõvakatte puhul suureneb kuumkatoodiga töödeldava detaili esi- ja tagapinna voolutihedus ja kile struktuur. Enne kuumkatoodi lisamist on TiSiCN-i voolutihedus töödeldaval detailil vaid 0,2 mA/mm2, pärast kuumkatoodi suurendamist 4,9 mA/mm2-ni, mis on umbes 24-kordne suurenemine, ja kile struktuur on tihedam. On näha, et magnetronpihustamise tehnoloogias on kuumkatoodi lisamine väga tõhus magnetronpihustamise sadestumiskiiruse ja kileosakeste aktiivsuse parandamisel. See tehnoloogia võib oluliselt parandada turbiinilabade, mudapumba kolbide ja veski osade eluiga.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 11. okt 2023