La volframa filamento estas varmigita ĝis alta temperaturo, kiu elsendas varmajn elektronojn por elsendi alt-densecan elektronfluon, kaj samtempe akcela elektrodo estas agordita por akceli la varmajn elektronojn en alt-energian elektronfluon. Alt-denseca, alt-energia elektronfluo povas esti pli da klora jonigo, pli da metalfilmaj tavolo-atomoj jonigitaj por akiri pli da kloridaj jonoj por plibonigi la ŝprutadrapidecon, tiel pliigante la deponadrapidecon: povas esti pli da metaljonigo por plibonigi la metaljonigan rapidon, favorante la reakcion de la deponado de la komponaĵa filmo; metalfilmaj tavolo-jonoj atingas la laborpecon por plibonigi la kurentdensecon de la laborpeco, tiel pliigante la deponadrapidecon.
En la magnetrona ŝprucado de malmola tegaĵo, pliiĝas la kurentdenseco kaj la filmorganizado de la antaŭa kaj malantaŭa parto de la varma katodigo de la laborpeco. Antaŭ la aldono de la varma katodo de TiSiCN, la kurentdenseco sur la laborpeco estas nur 0.2mA/mm², sed post la pliiĝo de la varma katodo al 4.9mA/mm², kio egalas al pliiĝo de ĉirkaŭ 24-obla tempo, la filmorganizado estas pli densa. Videblas, ke en la magnetrona ŝprucado de tegaĵteknologio, la aldono de varma katodo estas tre efika por plibonigi la magnetronan ŝprucadon de deponado-rapidecon kaj la aktivecon de la filmpartikloj. Ĉi tiu teknologio povas signife plibonigi la vivon de turbinklingoj, ŝlimpumpilplonĝiloj kaj muelilpartoj.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikanto de vakuaj tegaĵmaŝinojGuangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 11-a de oktobro 2023