Mae'r offer yn bennaf yn mabwysiadu dyddodiad anwedd cemegol i baratoi ffilm ocsid, sydd â nodweddion cyfradd dyddodiad cyflym ac ansawdd ffilm uchel. O ran strwythur yr offer, defnyddir y strwythur drws dwbl i wella effeithlonrwydd y clampio, a mabwysiadir y system gyflenwi nwy hylif ddiweddaraf i sicrhau llif sefydlog a rheoladwy a sicrhau sefydlogrwydd y broses yn effeithiol. Mae gan y ffilm a baratoir gan yr offer rwystr anwedd dŵr da a chyfnod sefydlog hirach mewn prawf berwi.
Gellir defnyddio'r offer ar ddur di-staen, caledwedd electroplatiedig / rhannau plastig, gwydr, cerameg a deunyddiau eraill, megis cynhyrchion electronig, gleiniau golau LED, cyflenwadau meddygol a chynhyrchion eraill sydd angen ymwrthedd i ocsideiddio. Mae ffilm rhwystr SiOx wedi'i pharatoi'n bennaf i rwystro anwedd dŵr yn effeithiol, atal cyrydiad ac ocsideiddio, a gwella oes y cynnyrch.
| Modelau dewisol | maint y siambr fewnol |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(mm) |