Yn fras, gellir rhannu CVD yn fras yn ddau fath: un yw dyddodiad anwedd haen epitacsial grisial sengl ar y swbstrad, sef CVD cul; y llall yw dyddodiad ffilmiau tenau ar y swbstrad, gan gynnwys ffilmiau aml-gynnyrch ac amorffaidd. Yn ôl y gwahanol fathau o nwyon ffynhonnell a ddefnyddir, gellir rhannu CVD yn ddull cludo halogen a dyddodiad anwedd cemegol metel-organig (MOCVD), y cyntaf yn halid fel ffynhonnell nwy, yr olaf yn gyfansoddion metel-organig fel ffynhonnell nwy. Yn ôl y pwysau yn y siambr adwaith, gellir ei rannu'n dri phrif fath: CVD pwysau atmosfferig (APCVD), CVD pwysau isel (LPCVD) a CVD gwactod uwch-uchel (UHV/CVD). Gellir defnyddio CVD hefyd fel dull ategol sy'n cael ei wella gan ynni, ac mae'r rhai cyffredin heddiw yn cynnwys CVD wedi'i wella gan plasma (PECVD) a CVD wedi'i wella gan olau (PCVD), ac ati. Yn ei hanfod, dull dyddodiad cyfnod nwy yw CVD.
Yn ei hanfod, dull ffurfio ffilm yw CVD lle mae sylwedd cyfnod nwy yn cael ei adweithio'n gemegol ar dymheredd uchel i gynhyrchu sylwedd solet sy'n cael ei ddyddodi ar swbstrad. Yn benodol, mae halidau metel anweddol neu gyfansoddion organig metel yn cael eu cymysgu â nwy cludwr fel H, Ar, neu N, ac yna'n cael eu cludo'n unffurf i swbstrad tymheredd uchel mewn siambr adwaith i ffurfio ffilm denau ar y swbstrad trwy adwaith cemegol. Ni waeth pa fath o CVD, rhaid i ddyddodiad y gellir ei gynnal yn llwyddiannus fodloni'r amodau sylfaenol canlynol: Yn gyntaf, yn y tymheredd dyddodiad, rhaid i'r adweithyddion fod â phwysedd anwedd digon uchel; Yn ail, rhaid i'r cynnyrch adwaith, yn ogystal â'r dyddodiad a ddymunir ar gyfer y cyflwr solet, weddill y cyflwr nwyol; Yn drydydd, dylai'r dyddodiad ei hun fod â phwysedd anwedd digon isel i sicrhau y gellir cadw'r broses adwaith dyddodiad ym mhroses gyfan y swbstrad wedi'i gynhesu; Yn bedwerydd, mae'r deunydd swbstrad yn cael ei gludo'n unffurf i'r siambr adwaith ar y swbstrad, trwy'r adwaith cemegol i ffurfio ffilm denau. Yn bedwerydd, dylai pwysedd anwedd y deunydd swbstrad ei hun hefyd fod yn ddigon isel ar y tymheredd dyddodiad.
–Mae'r erthygl hon wedi'i chyhoeddi bygwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Mai-04-2024