Mae'r ffilament twngsten yn cael ei gynhesu i dymheredd uchel sy'n allyrru electronau poeth i allyrru ffrwd electronau dwysedd uchel, ac ar yr un pryd mae electrod cyflymu yn cael ei osod i gyflymu'r electronau poeth yn ffrwd electronau egni uchel. Gall llif electronau dwysedd uchel ac egni uchel gael mwy o ïoneiddio clorin, mwy o atomau haen ffilm fetel wedi'u hïoneiddio i gael mwy o ïonau clorid i wella'r gyfradd chwistrellu, a thrwy hynny gynyddu'r gyfradd dyddodiad: gall mwy o ïoneiddio metel wella'r gyfradd ïoneiddio metel, sy'n ffafriol i adwaith dyddodiad y ffilm gyfansawdd; mae ïonau haen ffilm fetel yn cyrraedd y darn gwaith i wella dwysedd cyfredol y darn gwaith, a thrwy hynny gynyddu'r gyfradd dyddodiad.
Yn y cotio caled chwistrellu magnetron, mae cynnydd yn y dwysedd cerrynt a threfniadaeth ffilm blaen a chefn y darn gwaith o'r cathodeiddio poeth. Cyn ychwanegu catod poeth TiSiCN, dim ond 0.2mA/mm yw'r dwysedd cerrynt ar y darn gwaith, ac ar ôl i'r catod poeth gynyddu i 4.9mA/mm2, sy'n cyfateb i gynnydd o tua 24 gwaith, ac mae'r trefniadaeth ffilm yn fwy dwys. Gellir gweld, mewn technoleg cotio chwistrellu magnetron, bod ychwanegu catod poeth yn effeithiol iawn wrth wella cyfradd dyddodiad chwistrellu magnetron a gweithgaredd gronynnau'r ffilm. Gall y dechnoleg hon wella bywyd llafnau tyrbin, plymwyr pwmp mwd, a rhannau grinder yn sylweddol.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Hydref-11-2023