Zařízení využívá k přípravě oxidového filmu převážně chemickou depozici z plynné fáze, která se vyznačuje vysokou rychlostí nanášení a vysokou kvalitou filmu. Pokud jde o konstrukci zařízení, používá se dvojitá dvířka pro zlepšení účinnosti upínání a používá se nejnovější systém přívodu kapalného plynu pro zajištění stabilního a regulovatelného průtoku a účinné zajištění stability procesu. Film připravený zařízením má dobrou parotěsnou bariéru a delší dobu stability při testu varu.
Zařízení lze použít na nerezovou ocel, galvanicky pokovené díly z kovu / plastů, sklo, keramiku a další materiály, jako jsou elektronické výrobky, LED světelné korálky, zdravotnické potřeby a další výrobky, které vyžadují odolnost proti oxidaci. Bariérová fólie SiOx je určena především k účinnému blokování vodní páry, prevenci koroze a oxidace a prodloužení životnosti výrobku.
| Volitelné modely | velikost vnitřní komory |
| ZHCVD1200 | φ1200*V1950(mm) |