Wolframové vlákno se zahřeje na vysokou teplotu, která emituje horké elektrony a vytváří proud elektronů s vysokou hustotou. Současně je nastavena urychlovací elektroda, která urychluje horké elektrony do proudu elektronů s vysokou energií. Tok elektronů s vysokou hustotou a vysokou energií může vést k větší ionizaci chloru a ionizaci atomů kovové vrstvy, čímž se získá více chloridových iontů a zlepší se rychlost naprašování, čímž se zvýší rychlost nanášení. Může vést k větší ionizaci kovu, což přispívá k reakci nanášení sloučeninového filmu. Ionty kovové vrstvy se dostanou k obrobku, čímž se zlepší hustota proudu v obrobku, čímž se zvýší rychlost nanášení.
Při nanášení tvrdého povlaku magnetronovým naprašováním se zvyšuje hustota proudu a organizace filmu na přední a zadní straně obrobku po horké katodizaci. Před přidáním horké katody je hustota proudu na obrobku pouze 0,2 mA/mm2, po zvýšení horké katody na 4,9 mA/mm2, což odpovídá přibližně 24násobnému nárůstu, a organizace filmu je hustší. Je vidět, že u technologie magnetronového naprašování je přidání horké katody velmi účinné pro zlepšení rychlosti nanášení magnetronovým naprašováním a aktivity částic filmu. Tato technologie může výrazně zlepšit životnost lopatek turbín, pístů kalových čerpadel a součástí brusky.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 11. října 2023