Volframova nit se zagrijava na visoku temperaturu koja emituje vruće elektrone i stvara elektronski tok visoke gustine, a istovremeno se podešava i akcelerirajuća elektroda koja ubrzava vruće elektrone u elektronski tok visoke energije. Protok elektrona visoke gustine i visoke energije može dovesti do veće jonizacije hlora, što znači da se više atoma metalnog filma jonizuje kako bi se dobilo više hloridnih iona i poboljšala brzina raspršivanja, čime se povećava brzina taloženja; ioni metalnog filma mogu doći do radnog komada kako bi se poboljšala gustina struje radnog komada, čime se povećava brzina taloženja.
Kod tvrdog premaza magnetronskim raspršivanjem, povećava se gustina struje i organizacija filma na prednjoj i zadnjoj strani obratka vrućom katodizacijom. Prije dodavanja vruće katode TiSiCN, gustina struje na obratku je samo 0,2 mA/mm2, a nakon povećanja vruće katode na 4,9 mA/mm2, što je ekvivalentno povećanju od oko 24 puta, a organizacija filma je gušća. Može se vidjeti da je kod tehnologije magnetronskog raspršivanja dodavanje vruće katode vrlo učinkovito u poboljšanju brzine nanošenja magnetronskog raspršivanja i aktivnosti čestica filma. Ova tehnologija može značajno poboljšati vijek trajanja lopatica turbina, klipova pumpi za isplaku i dijelova brusilice.
–Ovaj članak je objavljen od straneproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 11. oktobar 2023.