টাংস্টেন ফিলামেন্টটি একটি উচ্চ তাপমাত্রায় উত্তপ্ত করা হয় যা উচ্চ-ঘনত্বের ইলেকট্রন প্রবাহ নির্গত করার জন্য গরম ইলেকট্রন নির্গত করে এবং একই সাথে একটি ত্বরণকারী ইলেকট্রোড গরম ইলেকট্রনগুলিকে উচ্চ-শক্তির ইলেকট্রন প্রবাহে ত্বরান্বিত করার জন্য সেট করা হয়। উচ্চ-ঘনত্বের, উচ্চ-শক্তির ইলেকট্রন প্রবাহ আরও ক্লোরিন আয়নীকরণ, আরও ধাতব ফিল্ম স্তর পরমাণু আয়নীকরণ করে আরও ক্লোরাইড আয়ন প্রাপ্ত করে স্পুটারিং হার উন্নত করে, যার ফলে জমার হার বৃদ্ধি পায়: ধাতব আয়নীকরণ হার উন্নত করার জন্য আরও ধাতব আয়নীকরণ হতে পারে, যা যৌগিক ফিল্মের জমার প্রতিক্রিয়ার জন্য সহায়ক; ধাতব ফিল্ম স্তর আয়নগুলি কাজের অংশের বর্তমান ঘনত্ব উন্নত করার জন্য ওয়ার্কপিসে পৌঁছায়, যার ফলে জমার হার বৃদ্ধি পায়।
ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং হার্ড লেপে, গরম ক্যাথোডাইজিংয়ের সামনে এবং পিছনের ওয়ার্কপিসের কারেন্ট ঘনত্ব এবং ফিল্ম সংগঠন বৃদ্ধি পায়। গরম ক্যাথোড যোগ করার আগে TiSiCN, গরম ক্যাথোড 4.9mA/mm2 বৃদ্ধির পরে ওয়ার্কপিসে কারেন্ট ঘনত্ব মাত্র 0.2mA/mm হয়, যা 24 গুণ বৃদ্ধির সমতুল্য এবং ফিল্ম সংগঠন আরও ঘন হয়। দেখা যায় যে ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং লেপ প্রযুক্তিতে, ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং জমার হার এবং ফিল্ম কণার কার্যকলাপ উন্নত করতে একটি গরম ক্যাথোড যুক্ত করা খুবই কার্যকর। এই প্রযুক্তি টারবাইন ব্লেড, কাদা পাম্প প্লাঞ্জার এবং গ্রাইন্ডার যন্ত্রাংশের জীবনকাল উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত করতে পারে।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: অক্টোবর-১১-২০২৩