Волфрамовата нишка се нагрява до висока температура, която излъчва горещи електрони, за да излъчва електронен поток с висока плътност, а едновременно с това ускоряващ електрод се настройва за ускоряване на горещите електрони във високоенергиен електронен поток. Потокът от електрони с висока плътност и висока енергия може да доведе до по-силна йонизация на хлора, йонизиране на повече атоми в металния слой, за да се получат повече хлоридни йони и да се подобри скоростта на разпрашаване, като по този начин се увеличи скоростта на отлагане; може да се постигне по-силна йонизация на метала, за да се подобри скоростта на йонизация на метала, благоприятствайки реакцията на отлагане на сложното фолио; йоните в металния слой могат да достигнат до детайла, за да се подобри плътността на тока в детайла, като по този начин се увеличи скоростта на отлагане.
При магнетронно разпрашване на твърдо покритие, плътността на тока и организацията на филма се увеличават отпред и отзад на детайла чрез горещо катодиране. Преди добавяне на горещ катод, плътността на тока върху детайла е само 0,2 mA/mm2, а след увеличаване на горещия катод до 4,9 mA/mm2, което е еквивалентно на увеличение от около 24 пъти, а организацията на филма е по-плътна. Вижда се, че при технологията за магнетронно разпрашване, добавянето на горещ катод е много ефективно за подобряване на скоростта на магнетронно разпрашване и активността на частиците на филма. Тази технология може значително да подобри живота на лопатките на турбините, буталата на калните помпи и частите на шлифовъчните машини.
–Тази статия е публикувана отпроизводител на машини за вакуумно покритиеГуандун Джънхуа
Време на публикуване: 11 октомври 2023 г.