Вальфрамавая нітка награваецца да высокай тэмпературы, што прыводзіць да выпраменьвання гарачых электронаў, якія ўтвараюць электронны паток высокай шчыльнасці. Адначасова паскаральны электрод усталёўваецца для паскарэння гарачых электронаў у электронны паток высокай энергіі. Высокашчыльны і высокаэнергетычны электронны паток можа прывесці да большай іанізацыі хлору, большай колькасці атамаў металічнай плёнкі, што дазваляе атрымаць больш іонаў хлору і палепшыць хуткасць распылення, тым самым павялічваючы хуткасць нанясення; можа быць большая іанізацыя металу для паляпшэння хуткасці іанізацыі металу, што спрыяе рэакцыі нанясення злучэння; іёны металічнай плёнкі павінны дасягнуць дэталі для паляпшэння шчыльнасці току ў дэталі, тым самым павялічваючы хуткасць нанясення.
Пры нанясенні цвёрдага пакрыцця магнетронным распыленнем павялічваецца шчыльнасць току і арганізацыя плёнкі на пярэдняй і задняй паверхнях дэталі пасля гарачага катодавання. Да дадання гарачага катода шчыльнасць току на дэталі складае ўсяго 0,2 мА/мм2, а пасля павелічэння гарачага катода да 4,9 мА/мм2, што эквівалентна павелічэнню прыкладна ў 24 разы, і арганізацыя плёнкі становіцца больш шчыльнай. Можна заўважыць, што пры тэхналогіі магнетроннага распылення даданне гарачага катода вельмі эфектыўна паляпшае хуткасць нанясення пакрыцця магнетронным распыленнем і актыўнасць часціц плёнкі. Гэтая тэхналогія можа значна палепшыць тэрмін службы лапатак турбін, плунжераў буравых помпаў і дэталяў шліфавальных установак.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 11 кастрычніка 2023 г.