Geniş şəkildə desək, CVD təxminən iki növə bölünə bilər: biri dar CVD olan bir kristal epitaksial təbəqənin substrat buxarının çökməsi üzərində tək məhsulda; digəri çox məhsullu və amorf filmlər də daxil olmaqla, substratda nazik təbəqələrin çökməsidir. İstifadə olunan müxtəlif növ mənbə qazlarına görə, CVD halogen daşıma üsuluna və metal-üzvi kimyəvi buxar çökdürülməsinə (MOCVD), birincisi qaz mənbəyi kimi halidə, ikincisi qaz mənbəyi kimi metal-üzvi birləşmələrə bölünə bilər. Reaksiya kamerasındakı təzyiqə görə, onu üç əsas növə bölmək olar: atmosfer təzyiqi CVD (APCVD), aşağı təzyiqli CVD (LPCVD) və ultra yüksək vakuum CVD (UHV/CVD). CVD, həmçinin enerji ilə gücləndirilmiş köməkçi üsul kimi istifadə edilə bilər və indiki vaxtda geniş yayılmış işıqlandırılmış və CVD olanlar daxildir. CVD (PCVD) və s. CVD mahiyyətcə qaz fazalı çökmə üsuludur.
CVD mahiyyətcə bir qaz fazalı maddənin yüksək temperaturda kimyəvi reaksiyaya girdiyi və substratda çökən bərk maddənin əmələ gəldiyi bir film əmələ gətirmə üsuludur. Xüsusilə, uçucu metal halidləri və ya metal üzvi birləşmələri H, Ar və ya N kimi bir daşıyıcı qazla qarışdırılır və sonra kimyəvi reaksiya vasitəsilə substratda nazik bir film yaratmaq üçün reaksiya kamerasında yüksək temperaturlu substrata bərabər şəkildə nəql edilir. CVD-nin hansı növündən asılı olmayaraq, çökdürmə uğurla həyata keçirilə bilər, aşağıdakı əsas şərtlərə cavab verməlidir: Birincisi, çökmə temperaturunda reaktivlər kifayət qədər yüksək buxar təzyiqinə malik olmalıdır; İkincisi, reaksiya məhsulu, bərk vəziyyət üçün arzu olunan yatağa əlavə olaraq, qaz halında qalan; Üçüncüsü, çökmə reaksiya prosesinin qızdırılan substratın bütün prosesində saxlanılmasını təmin etmək üçün yatağın özü kifayət qədər aşağı buxar təzyiqi olmalıdır; Dördüncüsü, substrat materialı nazik bir film yaratmaq üçün kimyəvi reaksiya vasitəsilə substratdakı reaksiya kamerasına bərabər nəql olunur. Dördüncüsü, substrat materialının özünün buxar təzyiqi də çökmə temperaturunda kifayət qədər aşağı olmalıdır.
- Bu məqalə dərc olunub byvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 04 may 2024-cü il