Volfram filamenti yüksək sıxlıqlı elektron axını yaymaq üçün isti elektronlar yayan yüksək temperatura qədər qızdırılır və eyni zamanda isti elektronları yüksək enerjili elektron axınına sürətləndirmək üçün sürətləndirici elektrod quraşdırılır. Yüksək sıxlıqlı, yüksək enerjili elektron axını daha çox xlor ionlaşması ola bilər, daha çox metal film təbəqəsi atomları püskürtmə sürətini yaxşılaşdırmaq üçün daha çox xlorid ionları əldə etmək üçün ionlaşdırıla bilər və bununla da çökmə sürəti artır: metal ionlaşma dərəcəsini yaxşılaşdırmaq üçün daha çox metal ionlaşması ola bilər, mürəkkəb filmin çökməsinin reaksiyasına şərait yaradır; iş parçasının cari sıxlığını yaxşılaşdırmaq üçün iş parçasına çatmaq üçün metal film təbəqəsi ionları, bununla da çökmə sürətini artırır.
Maqnetron püskürən sərt örtükdə,Cərəyan sıxlığının artması və iş parçasının ön və arxa isti katodizasiyasının film təşkili. TiSiCN isti katod əlavə edilməzdən əvvəl, iş parçası üzərində cərəyan sıxlığı yalnız 0,2mA / mm, isti katodda 4,9 mA / mm2-ə qədər artdıqdan sonra, 24 dəfə və ya daha çox artıma bərabərdir və filmin təşkili daha sıxdır. Görünür ki, maqnetron püskürtmə örtük texnologiyasında isti katodun əlavə edilməsi maqnetron püskürtmə çökmə sürətinin və plyonka hissəciklərinin aktivliyinin yaxşılaşdırılmasında çox effektivdir. Bu texnologiya turbin qanadlarının, palçıq nasosunun daldırıcılarının və dəyirman hissələrinin ömrünü əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdıra bilər.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 11 oktyabr 2023-cü il