Die wolframfilament word verhit tot 'n hoë temperatuur wat warm elektrone vrystel om 'n hoëdigtheid-elektronstroom vry te stel, en terselfdertyd word 'n versnellende elektrode ingestel om die warm elektrone in 'n hoë-energie-elektronstroom te versnel. Hoëdigtheid, hoë-energie elektronvloei kan meer chloorionisasie, meer metaalfilmlaagatome geïoniseerd wees om meer chloriedione te verkry om die sputtertempo te verbeter, en sodoende die afsettingstempo te verhoog: meer metaalionisasie kan wees om die metaalionisasietempo te verbeter, wat bevorderlik is vir die reaksie van die afsetting van die saamgestelde film; metaalfilmlaagione bereik die werkstuk om die stroomdigtheid van die werkstuk te verbeter, en sodoende die afsettingstempo te verhoog.
In die magnetron-sputterbedekkingstegnologie neem die stroomdigtheid en filmorganisasie van die werkstuk voor en agter die warm katodisering toe. TiSiCN voor die byvoeging van warm katode is die stroomdigtheid op die werkstuk slegs 0.2mA/mm2, na die toename in die warm katode tot 4.9mA/mm2, wat gelykstaande is aan 'n toename van ongeveer 24 keer, en die filmorganisasie is digter. Daar kan gesien word dat die byvoeging van 'n warm katode in magnetron-sputterbedekkingstegnologie baie effektief is om die magnetron-sputterafsettingstempo en die aktiwiteit van die filmdeeltjies te verbeter. Hierdie tegnologie kan die lewensduur van turbinelemme, modderpomp-plunjers en slyponderdele aansienlik verbeter.
–Hierdie artikel word vrygestel deurvervaardiger van vakuumbedekkingsmasjieneGuangdong Zhenhua
Plasingstyd: 11 Okt 2023