Ion tan ina ṣe iranlọwọ imọ-ẹrọ ifisilẹ

Ni otitọ, imọ-ẹrọ ifisilẹ iranlọwọ Ion tan ina jẹ imọ-ẹrọ akojọpọ. O jẹ ilana itọju ion dada idapọpọ apapọ ion gbingbin ati imọ-ẹrọ fiimu ifisilẹ oru ti ara, ati iru tuntun ti ilana imudara dada ion beam. Ni afikun si awọn anfani ti ifasilẹ eefin ti ara, ilana yii le tẹsiwaju nigbagbogbo dagba eyikeyi fiimu sisanra labẹ awọn ipo iṣakoso okun diẹ sii, mu ilọsiwaju kristal ati iṣalaye ti Layer fiimu pọ si ni pataki, pọ si agbara alemora ti Layer fiimu / sobusitireti, mu iwuwo ti fiimu fiimu naa pọ si, ati ṣepọ awọn fiimu idapọmọra pẹlu awọn ipin stoichiometric to dara julọ ni iwọn otutu yara fiimu ati awọn oriṣi tuntun ko le gba ni iwọn otutu yara, pẹlu awọn oriṣi tuntun. Ifisilẹ iranlọwọ Ion beam kii ṣe idaduro awọn anfani ti ilana gbingbin ion nikan, ṣugbọn tun le bo sobusitireti pẹlu fiimu ti o yatọ patapata lati sobusitireti.
Ninu gbogbo iru isọkusọ oru ti ara ati isunmọ ọru kẹmika, ṣeto ti awọn ibon ion bombardment iranlọwọ ni a le ṣafikun lati ṣe agbekalẹ eto IBAD kan, ati pe awọn ilana IBAD gbogbogbo meji wa gẹgẹbi atẹle yii, bi o ṣe han ninu Pic:

Gẹgẹbi a ṣe han ni Pic (a), orisun evaporation elekitironi ni a lo lati ṣe itanna Layer fiimu naa pẹlu ina ion ti o jade lati inu ibon ion, nitorina ni imọran ifisilẹ iranlọwọ ion tan ina. Awọn anfani ni wipe awọn ion tan ina agbara ati itọsọna le ti wa ni titunse, sugbon nikan kan nikan tabi lopin alloy, tabi yellow le ṣee lo bi awọn evaporation orisun, ati awọn kọọkan vapor titẹ ti awọn alloy paati ati yellow ti o yatọ si, eyi ti o mu ki o soro lati gba awọn fiimu Layer ti awọn atilẹba evaporation orisun tiwqn.
Pic (b) ṣe afihan ifitonileti ion beam sputtering-iranlọwọ, eyiti a tun mọ ni ilọpo meji ion beam sputtering deposition, ninu eyiti ibi-afẹde ti a ṣe ti ion beam sputtering ohun elo, awọn ọja sputtering ti lo bi orisun. Lakoko fifisilẹ sori sobusitireti, ion beam sputtering ifisilẹ iranlọwọ jẹ aṣeyọri nipasẹ itanna pẹlu orisun ion miiran. Anfani ti ọna yii ni pe awọn patikulu sputtered funrararẹ ni agbara kan, nitorinaa ifaramọ dara julọ pẹlu sobusitireti; eyikeyi paati ti ibi-afẹde le jẹ ti a bo sputtered, ṣugbọn tun le jẹ itusilẹ ifura sinu fiimu naa, rọrun lati ṣatunṣe akopọ ti fiimu naa, ṣugbọn ṣiṣe ifisilẹ rẹ jẹ kekere, ibi-afẹde naa jẹ gbowolori ati pe awọn iṣoro wa bii sputtering yiyan.