Àwọ̀ ìbòrí ìbòrí ní pàtàkì nínú ìbòrí ìgbóná omi, ìbòrí ìbòrí ìbòrí àti ìbòrí ion, gbogbo èyí tí a ń lò láti fi onírúurú fíìmù irin àti ti kìí ṣe irin sí ojú àwọn ẹ̀yà ike nípa ṣíṣe ìdènà tàbí fífún ní ìgbóná omi lábẹ́ àwọn ipò ìbòrí omi, èyí tí ó lè gba ìbòrí ojú tín-tín pẹ̀lú àǹfààní lílo kíákíá, ṣùgbọ́n iye owó náà tún ga jù, àti irú àwọn irin tí a lè lò kò pọ̀, a sì sábà máa ń lò wọ́n fún ìbòrí iṣẹ́ ti àwọn ọjà tí ó ga jùlọ.
Ìfipamọ́ èéfín èéfín jẹ́ ọ̀nà láti mú kí irin náà gbóná lábẹ́ ìfọ́mọ́ gíga, kí ó yọ́, kí ó gbẹ, kí ó sì ṣẹ̀dá fíìmù irin tín-ín-rín lórí ojú àyẹ̀wò náà lẹ́yìn tí ó bá ti tutù, pẹ̀lú sísanra 0.8-1.2 um. Ó ń kún àwọn ẹ̀yà kékeré tí ó kọjú sí ara wọn àti àwọn tí ó kọjú sí ara wọn lórí ojú ọjà tí a ṣe láti rí ojú tí ó dàbí dígí. Nígbà tí a bá ṣe ìfipamọ́ èéfín èéfín èéfín yálà láti rí ipa dígí tí ó ń tàn yanranyanran tàbí láti fa èéfín èéfín èéfín èéfín tí ó ní ìsopọ̀ díẹ̀, a gbọ́dọ̀ fi bo ojú ìsàlẹ̀.
Sputtering sábà máa ń tọ́ka sí magnetron sputtering, èyí tí í ṣe ọ̀nà sputtering iwọ̀n otútù kékeré tó ga. Ìlànà náà nílò vacuum tó tó 1×10-3Torr, ìyẹn 1.3×10-3Pa vacuum state tí a fi inert gaasi argon (Ar) kún, àti láàrín àwọn ohun èlò ike (anode) àti irin target (cathode) pẹ̀lú ga-voltage direct current, nítorí electron excitation ti inert gaasi tí glow discharge ń mú jáde, tí ó ń mú plasma jáde, plasma náà yóò fọn àwọn átọ̀mù ti irin target náà jáde, yóò sì fi wọ́n sí orí ike náà. Ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ohun èlò irin gbogbogbòò ń lo DC sputtering, nígbà tí àwọn ohun èlò seramiki tí kò ní conductive ń lo RF AC sputtering.
Ìbòrí ion jẹ́ ọ̀nà kan tí a fi ń lo ìtújáde gaasi láti sọ gaasi tàbí ohun tí a ti tú jáde di ion díẹ̀ lábẹ́ àwọn ipò vacuum, àti pé a fi ohun tí a ti tú jáde tàbí àwọn ohun tí ó ń fa ìfàsẹ́yìn rẹ̀ sí orí substrate nípa lílo bọ́m̀bù àwọn ion gaasi tàbí àwọn ion ti ohun tí a ti tú jáde. Àwọn wọ̀nyí ní ìbòrí ion magnetron sputtering, ìbòrí ion reactive, ìbòrí ion cathode discharge hollow (ọ̀nà ìdènà vapor cathode hollow), àti ìbòrí ion multi-arc (ìbòrí ion cathode arc).
Inaro meji-apa magnetron sputtering lemọlemọfún ibora ni ila
A le lo o fun awọn ọja itanna bii fẹlẹfẹlẹ aabo EMI ikarahun iwe iranti, awọn ọja alapin, ati paapaa gbogbo awọn ọja ago fitila laarin awọn alaye giga kan. Agbara fifuye nla, mimu kekere ati mimu awọn ago ina onigun mẹta fun ibora apa meji, eyiti o le ni agbara fifuye ti o tobi julọ. Didara iduroṣinṣin, ibamu to dara ti fẹlẹfẹlẹ fiimu lati ipele si ipele. Iwọn adaṣiṣẹ giga ati idiyele iṣẹ ṣiṣe kekere.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Jan-23-2025