ການນຳສະເໜີການວາງອາຍສູນຍາກາດ, ການສີດນ້ຳ ແລະ ການເຄືອບໄອອອນ

ການເຄືອບສູນຍາກາດສ່ວນໃຫຍ່ປະກອບມີການເຄືອບໄອສູນຍາກາດ, ການເຄືອບສະເປເຕີຣິງ ແລະ ການເຄືອບໄອອອນ, ເຊິ່ງທັງໝົດນີ້ແມ່ນໃຊ້ເພື່ອເຄືອບຟິມໂລຫະ ແລະ ບໍ່ແມ່ນໂລຫະຕ່າງໆໃສ່ໜ້າຜິວຂອງຊິ້ນສ່ວນພາດສະຕິກໂດຍການກັ່ນ ຫຼື ສະເປເຕີຣິງພາຍໃຕ້ສະພາບສູນຍາກາດ, ເຊິ່ງສາມາດໄດ້ການເຄືອບໜ້າຜິວທີ່ບາງຫຼາຍດ້ວຍຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງການຍຶດຕິດໄວ, ແຕ່ລາຄາກໍ່ສູງກວ່າ, ແລະ ປະເພດຂອງໂລຫະທີ່ສາມາດໃຊ້ໄດ້ກໍ່ໜ້ອຍກວ່າ, ແລະ ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວແມ່ນໃຊ້ສຳລັບການເຄືອບທີ່ມີປະໂຫຍດຂອງຜະລິດຕະພັນຊັ້ນສູງ.
ການວາງອາຍສູນຍາກາດແມ່ນວິທີການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແກ່ໂລຫະພາຍໃຕ້ສູນຍາກາດສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນລະລາຍ, ລະເຫີຍ, ແລະ ປະກອບເປັນຟິມໂລຫະບາງໆຢູ່ເທິງໜ້າຜິວຂອງຕົວຢ່າງຫຼັງຈາກເຮັດໃຫ້ເຢັນລົງ, ມີຄວາມໜາ 0.8-1.2 um. ມັນຈະຕື່ມໃສ່ສ່ວນນ້ອຍໆທີ່ເປັນຮູບໂຄ້ງ ແລະ ນູນເທິງໜ້າຜິວຂອງຜະລິດຕະພັນທີ່ສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນເພື່ອໃຫ້ໄດ້ໜ້າຜິວຄ້າຍຄືກະຈົກ. ເມື່ອການວາງອາຍສູນຍາກາດຖືກປະຕິບັດ ບໍ່ວ່າຈະເປັນເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຜົນກະທົບຂອງກະຈົກສະທ້ອນ ຫຼື ເພື່ອເຮັດໃຫ້ເຫຼັກກ້າລະເຫີຍສູນຍາກາດດ້ວຍການຍຶດຕິດຕ່ຳ, ໜ້າຜິວດ້ານລຸ່ມຕ້ອງໄດ້ຮັບການເຄືອບ.

ການສະເປເຕີຣິງມັກຈະໝາຍເຖິງການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ, ເຊິ່ງເປັນວິທີການສະເປເຕີຣິງທີ່ມີຄວາມໄວສູງໃນອຸນຫະພູມຕ່ຳ. ຂະບວນການດັ່ງກ່າວຕ້ອງການສູນຍາກາດປະມານ 1 × 10-3Torr, ເຊິ່ງແມ່ນ 1.3 × 10-3Pa ສະຖານະສູນຍາກາດທີ່ເຕັມໄປດ້ວຍອາຍແກັສອະນິນທາອາກອນ (Ar), ແລະລະຫວ່າງຊັ້ນຮອງພາດສະຕິກ (ອາໂນດ) ແລະເປົ້າໝາຍໂລຫະ (ແຄໂທດ) ບວກກັບກະແສໄຟຟ້າໂດຍກົງແຮງດັນສູງ, ເນື່ອງຈາກການກະຕຸ້ນເອເລັກຕຣອນຂອງອາຍແກັສອະນິນທາທີ່ເກີດຈາກການປ່ອຍແສງ, ຜະລິດພລາສມາ, ພລາສມາຈະລະເບີດອະຕອມຂອງເປົ້າໝາຍໂລຫະອອກມາ ແລະ ວາງພວກມັນໄວ້ເທິງຊັ້ນຮອງພາດສະຕິກ. ການເຄືອບໂລຫະທົ່ວໄປສ່ວນໃຫຍ່ໃຊ້ການສະເປເຕີຣິງແບບ DC, ໃນຂະນະທີ່ວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ບໍ່ນຳໄຟຟ້າໃຊ້ການສະເປເຕີຣິງແບບ RF AC.

ການເຄືອບໄອອອນແມ່ນວິທີການທີ່ການປ່ອຍອາຍແກັສຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອເຮັດໃຫ້ອາຍແກັສ ຫຼື ສານລະເຫີຍໄອອອນບາງສ່ວນຕົກຢູ່ພາຍໃຕ້ສະພາບສູນຍາກາດ, ແລະ ສານລະເຫີຍ ຫຼື ສານຕັ້ງຕົ້ນຂອງມັນຈະຖືກວາງໄວ້ເທິງຊັ້ນຮອງໂດຍການຖິ້ມໄອອອນອາຍແກັສ ຫຼື ໄອອອນຂອງສານລະເຫີຍ. ສິ່ງເຫຼົ່ານີ້ລວມມີການເຄືອບໄອອອນສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ, ການເຄືອບໄອອອນປະຕິກິລິຍາ, ການເຄືອບໄອອອນປ່ອຍແຄໂທດຮູ (ວິທີການວາງໄອອອນແຄໂທດຮູ), ແລະ ການເຄືອບໄອອອນຫຼາຍອາກ (ການເຄືອບໄອອອນແຄໂທດອາກ).

ການເຄືອບ magnetron sputtering ແບບຕໍ່ເນື່ອງສອງດ້ານແນວຕັ້ງໃນເສັ້ນ
ສາມາດໃຊ້ໄດ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງ, ສາມາດໃຊ້ສໍາລັບຜະລິດຕະພັນເອເລັກໂຕຣນິກເຊັ່ນ: ຊັ້ນປ້ອງກັນ EMI ຂອງເປືອກໂນດບຸກ, ຜະລິດຕະພັນຮາບພຽງ, ແລະແມ້ກະທັ້ງຜະລິດຕະພັນຖ້ວຍໂຄມໄຟທັງໝົດພາຍໃນລະດັບຄວາມສູງທີ່ແນ່ນອນ. ມີຄວາມສາມາດໃນການຮັບນໍ້າໜັກຫຼາຍ, ສາມາດໜີບໄດ້ກະທັດຮັດ ແລະ ມີການໜີບແບບຊ້ອນກັນຂອງຖ້ວຍແສງຮູບຈວຍສຳລັບການເຄືອບສອງດ້ານ, ເຊິ່ງສາມາດມີຄວາມສາມາດໃນການຮັບນໍ້າໜັກໄດ້ຫຼາຍກວ່າ. ຄຸນນະພາບທີ່ໝັ້ນຄົງ, ຄວາມສອດຄ່ອງທີ່ດີຂອງຊັ້ນຟິມຈາກຊຸດໜຶ່ງຫາອີກຊຸດໜຶ່ງ. ມີລະບົບອັດຕະໂນມັດສູງ ແລະ ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍແຮງງານຕໍ່າ.

- ບົດຄວາມນີ້ເຜີຍແຜ່ໂດຍຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua