Ho koahela ka vacuum ho kenyelletsa haholo-holo ho beha mouoane oa vacuum, ho koahela ka sputtering le ho koahela ka ion, tseo kaofela li sebelisetsoang ho beha lifilimi tse fapaneng tsa tšepe le tse seng tsa tšepe holim'a likarolo tsa polasetiki ka ho qhibilihisa kapa ho sputtering tlas'a maemo a vacuum, e leng se ka fumanang ho koahela ka holim'a vacuum ho tšesaane haholo ka monyetla o ikhethang oa ho khomarela ka potlako, empa theko le eona e phahame, 'me mefuta ea litšepe tse ka sebelisoang e tlase,' me hangata li sebelisoa bakeng sa ho koahela ka mokhoa o sebetsang oa lihlahisoa tsa maemo a holimo.
Ho kenya mouoane ka vacuum ke mokhoa oa ho futhumatsa tšepe tlas'a vacuum e phahameng, e etsang hore e qhibilihe, e fetohe mouoane, 'me e etse filimi e tšesaane ea tšepe holim'a sampole kamora ho pholile, ka botenya ba 0.8-1.2 um. E tlatsa likarolo tse nyane tse kobehileng le tse kobehileng holim'a sehlahisoa se entsoeng ho fumana bokaholimo bo kang ba seipone. Ha ho etsoa ho kenya mouoane ka vacuum ho fumana phello ea seipone se bonahatsang kapa ho etsa tšepe ka vacuum ka mouoane ka ho khomarela ho tlase, bokaholimo bo ka tlase bo tlameha ho koaheloa.
Hangata ho qhala ho bolela ho qhala ha magnetron, e leng mokhoa oa ho qhala ka lebelo le phahameng mochesong o tlase. Ts'ebetso ena e hloka vacuum ea hoo e ka bang 1 × 10-3Torr, ke hore boemo ba vacuum ba 1.3 × 10-3Pa bo tletseng argon ea khase e sa sebetseng (Ar), le pakeng tsa substrate ea polasetiki (anode) le sepheo sa tšepe (cathode) hammoho le motlakase o tobileng oa motlakase o phahameng, ka lebaka la ho qhala ha elektrone ea khase e sa sebetseng e hlahisoang ke ho tsoa ha khanya, e hlahisang plasma, plasma e tla phatloha liathomo tsa sepheo sa tšepe ebe e li beha holim'a substrate ea polasetiki. Bongata ba liphahlo tsa tšepe tse akaretsang li sebelisa ho qhala ha DC, ha thepa ea ceramic e sa tsamaiseng motlakase e sebelisa ho qhala ha RF AC.
Ho koahela ka ion ke mokhoa oo ho ona ho sebediswang khase e ntshang mouoane ho etsa hore khase kapa ntho e ntshang mouoane e be le ioni ka karolo e itseng tlasa maemo a vacuum, mme ntho e ntshang mouoane kapa di-reactant tsa yona di bewa hodima substrate ka ho phatloha ha di-ion tsa khase kapa di-ion tsa ntho e ntshang mouoane. Tsena di kenyeletsa ho koahela ka magnetron sputtering ion, ho koahela ka ion e arabelang, ho koahela ka cathode discharge ion e se nang letho (mokgwa wa ho beha mouoane wa cathode e se nang letho), le ho koahela ka ion e nang le arc e ngata (ho koahela ka cathode arc ion).
Ho roala ho sa khaotseng ha magnetron ka mahlakoreng a mabeli ho latela moleng
Ho sebetsa ka bophara, ho ka sebelisoa bakeng sa lihlahisoa tsa elektroniki tse kang lera la tšireletso la khetla ea bukana ea lintlha tsa lintlha tsa EMI, lihlahisoa tse bataletseng, esita le lihlahisoa tsohle tsa likopi tsa mabone tse ka har'a tlhaloso e itseng ea bophahamo li ka hlahisoa. Bokhoni bo boholo ba ho jara, ho tlama ho kopaneng le ho tlama ho tsitsitseng ha likopi tsa leseli la khoune bakeng sa ho roala mahlakore a mabeli, tse ka bang le bokhoni bo boholo ba ho jara. Boleng bo tsitsitseng, botsitso bo botle ba lera la filimi ho tloha sehlopheng se seng ho ea ho se seng. Boemo bo phahameng ba boiketsetso le litšenyehelo tse tlase tsa basebetsi ba sebetsang.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Pherekhong-23-2025