ថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាសភាគច្រើនរួមមានការដាក់ចំហាយទឹកក្នុងសុញ្ញកាស ថ្នាំកូតបាញ់ទឹក និងថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង ដែលទាំងអស់នេះត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តលោហៈ និងមិនមែនលោហៈជាច្រើនប្រភេទនៅលើផ្ទៃនៃគ្រឿងបន្លាស់ប្លាស្ទិកដោយការចម្រាញ់ ឬបាញ់ទឹកក្រោមលក្ខខណ្ឌសុញ្ញកាស ដែលអាចទទួលបានថ្នាំកូតផ្ទៃស្តើងខ្លាំងជាមួយនឹងគុណសម្បត្តិលេចធ្លោនៃការស្អិតជាប់លឿន ប៉ុន្តែតម្លៃក៏ខ្ពស់ជាងដែរ ហើយប្រភេទលោហៈដែលអាចដំណើរការបានតិចជាង ហើយជាទូទៅត្រូវបានប្រើសម្រាប់ថ្នាំកូតមុខងារនៃផលិតផលដែលមានគុណភាពខ្ពស់។
ការដាក់លោហៈដោយចំហាយទឹកក្នុងសុញ្ញកាស គឺជាវិធីសាស្ត្រមួយដើម្បីកំដៅលោហៈក្រោមសុញ្ញកាសខ្ពស់ ធ្វើឱ្យវារលាយ ហួត ហើយបង្កើតជាស្រទាប់លោហៈស្តើងមួយនៅលើផ្ទៃនៃគំរូបន្ទាប់ពីត្រជាក់ ដែលមានកម្រាស់ 0.8-1.2 អ៊ុម។ វាបំពេញផ្នែកប៉ោង និងប៉ោងតូចៗនៅលើផ្ទៃនៃផលិតផលដែលបានបង្កើត ដើម្បីទទួលបានផ្ទៃដូចកញ្ចក់។ នៅពេលដែលការដាក់លោហៈដោយចំហាយទឹកក្នុងសុញ្ញកាសត្រូវបានអនុវត្ត ទាំងដើម្បីទទួលបានឥទ្ធិពលកញ្ចក់ឆ្លុះបញ្ចាំង ឬដើម្បីធ្វើឱ្យដែកថែបមានភាពស្អិតទាបដោយចំហាយទឹក ផ្ទៃខាងក្រោមត្រូវតែស្រោប។
ការបាញ់កាំរស្មីជាធម្មតាសំដៅលើការបាញ់កាំរស្មីម៉ាញ៉េត្រូន ដែលជាវិធីសាស្ត្របាញ់កាំរស្មីសីតុណ្ហភាពទាបក្នុងល្បឿនលឿន។ ដំណើរការនេះតម្រូវឱ្យមានខ្យល់ក្នុងសុញ្ញកាសប្រហែល 1×10-3Torr ពោលគឺ 1.3×10-3Pa ដែលមានសភាពសុញ្ញកាសពោរពេញដោយឧស្ម័នអសកម្មអារហ្គុន (Ar) ហើយរវាងស្រទាប់ខាងក្រោមផ្លាស្ទិច (អាណូត) និងគោលដៅលោហៈ (កាតូត) បូករួមទាំងចរន្តផ្ទាល់វ៉ុលខ្ពស់ ដោយសារតែការរំញោចអេឡិចត្រុងនៃឧស្ម័នអសកម្មដែលបង្កើតឡើងដោយការបញ្ចេញពន្លឺ ផលិតប្លាស្មា ប្លាស្មានឹងបាញ់អាតូមនៃគោលដៅលោហៈចេញ ហើយដាក់វានៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមផ្លាស្ទិច។ ថ្នាំកូតលោហៈទូទៅភាគច្រើនប្រើការបាញ់កាំរស្មីឌីស៊ី ខណៈដែលសម្ភារៈសេរ៉ាមិចមិនដឹកនាំប្រើការបាញ់កាំរស្មីអេស៊ីអេច។
ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង គឺជាវិធីសាស្ត្រមួយដែលការបញ្ចេញឧស្ម័នត្រូវបានប្រើដើម្បីធ្វើអ៊ីយ៉ូដដោយផ្នែកលើឧស្ម័ន ឬសារធាតុហួតក្រោមលក្ខខណ្ឌសុញ្ញកាស ហើយសារធាតុហួត ឬសារធាតុប្រតិកម្មរបស់វាត្រូវបានដាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោមដោយការបាញ់ផ្លោងអ៊ីយ៉ុងឧស្ម័ន ឬអ៊ីយ៉ុងនៃសារធាតុហួត។ ទាំងនេះរួមមាន ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងបាញ់ម៉ាញ៉េត្រុង ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងប្រតិកម្ម ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងបញ្ចេញកាតូតប្រហោង (វិធីសាស្ត្រដាក់ចំហាយកាតូតប្រហោង) និងថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងពហុធ្នូ (ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងធ្នូកាតូត)។
ថ្នាំកូតម៉ាញ៉េទិចទ្វេភាគីបញ្ឈរជាបន្តបន្ទាប់
ការអនុវត្តយ៉ាងទូលំទូលាយ អាចប្រើសម្រាប់ផលិតផលអេឡិចត្រូនិចដូចជាស្រទាប់ការពារ EMI សំបកកុំព្យូទ័រយួរដៃ ផលិតផលសំប៉ែត និងសូម្បីតែផលិតផលពែងចង្កៀងទាំងអស់ក្នុងកម្រិតកម្ពស់ជាក់លាក់មួយក៏អាចផលិតបានដែរ។ សមត្ថភាពផ្ទុកធំ ការគៀបតូច និងការគៀបជាជួរនៃពែងពន្លឺរាងសាជីសម្រាប់ថ្នាំកូតទ្វេភាគី ដែលអាចមានសមត្ថភាពផ្ទុកធំជាង។ គុណភាពមានស្ថេរភាព ភាពស៊ីសង្វាក់គ្នាល្អនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តពីបាច់មួយទៅបាច់មួយ។ កម្រិតខ្ពស់នៃស្វ័យប្រវត្តិកម្ម និងថ្លៃពលកម្មទាប។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៣ ខែមករា ឆ្នាំ ២០២៥