Вакуумдық жабын негізінен вакуумдық бу тұндыру, шашырату жабыны және иондық жабынды қамтиды, олардың барлығы вакуум жағдайында айдау немесе шашырату арқылы пластикалық бөлшектердің бетіне әртүрлі металл және металл емес қабықшаларды тұндыру үшін қолданылады, бұл тез адгезияның ерекше артықшылығымен өте жұқа беттік жабын алуға мүмкіндік береді, бірақ бағасы да жоғары, ал пайдалануға болатын металл түрлері аз және әдетте жоғары сапалы өнімдерді функционалды жабу үшін қолданылады.
Вакуумдық бумен тұндыру - металды жоғары вакуумда қыздыру, оны балқыту, буландыру және салқындағаннан кейін үлгінің бетінде қалыңдығы 0,8-1,2 мкм болатын жұқа металл пленка қалыптастыру әдісі. Ол айна тәрізді бет алу үшін қалыптасқан өнімнің бетіндегі кішкентай ойыс және дөңес бөліктерді толтырады. Вакуумдық бумен тұндыру шағылыстыратын айна әсерін алу немесе адгезиясы төмен болатты вакуумдық буландыру үшін орындалған кезде, түбінің беті жабындымен жабылуы керек.
Шашырату әдетте магнетронды шашыратуды білдіреді, бұл жоғары жылдамдықты төмен температуралы шашырату әдісі. Бұл процесс шамамен 1 × 10-3 Торр вакуумды, яғни инертті газ аргонымен (Ar) толтырылған 1,3 × 10-3Па вакуумдық күйді қажет етеді, ал пластикалық негіз (анод) мен металл нысана (катод) арасында жоғары вольтты тұрақты ток, жарқыл разряды арқылы пайда болған инертті газдың электронды қоздыруына байланысты плазма пайда болады, плазма металл нысана атомдарын жарып жібереді және оларды пластикалық негізге орналастырады. Жалпы металл жабындарының көпшілігі тұрақты токты шашыратуды пайдаланады, ал өткізбейтін керамикалық материалдар радиожиілік айнымалы токты шашыратуды пайдаланады.
Иондық жабын - бұл газ разряды вакуум жағдайында газды немесе буланған затты ішінара иондау үшін қолданылатын әдіс, ал буланған зат немесе оның реактивтері газ иондарын немесе буланған заттың иондарын бомбалау арқылы субстратқа тұндырылады. Оларға магнетронды шашырату иондық жабыны, реактивті иондық жабын, қуыс катодты разряд иондық жабыны (қуыс катодты бумен тұндыру әдісі) және көп доғалы иондық жабын (катодты доғалы иондық жабын) жатады.
Тік екі жақты магнетронды шашыратудың үздіксіз жабыны бір сызықта
Кең қолданылуы, ноутбук қабығының EMI қорғаныс қабаты, жалпақ өнімдер сияқты электрондық өнімдер үшін қолданылуы мүмкін, тіпті белгілі бір биіктік сипаттамасындағы барлық шам шыныаяқ өнімдерін де шығаруға болады. Үлкен жүктеме сыйымдылығы, екі жақты жабын үшін конустық жарық шыныаяқтарын ықшам қысқыш және сатылы қысқышпен қысу мүмкіндігі, олардың жүктеме сыйымдылығы үлкен болуы мүмкін. Тұрақты сапа, партиядан партияға пленка қабатының жақсы консистенциясы. Автоматтандырудың жоғары деңгейі және жұмыс күшінің төмен құны.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 23 қаңтар