Dahaarka faakuumka waxaa inta badan ka mid ah dhigista uumiga faakuumka, dahaarka faakuumka iyo dahaarka ion-ka, kuwaas oo dhammaantood loo isticmaalo in lagu shubo filimaan bir ah iyo kuwo aan bir ahayn oo kala duwan dusha sare ee qaybaha balaastikada ah iyadoo la kala saarayo ama la kala bixinayo xaaladaha faakuumka, kuwaas oo heli kara dahaar dusha sare oo aad u khafiif ah oo leh faa'iidada ugu weyn ee dhejiska degdega ah, laakiin qiimuhu sidoo kale waa ka sarreeyaa, noocyada biraha ee la shaqayn karona waa ka yar yihiin, waxaana guud ahaan loo isticmaalaa dahaarka shaqaynta ee alaabada heerka sare ah.
Kaydinta uumiga faakuumka waa hab lagu kululeeyo birta iyadoo la isticmaalayo faakuumka sare, taasoo ka dhigaysa inay dhalaalto, uumi baxdo, oo ay sameyso filim bir ah oo khafiif ah oo saaran dusha sare ee muunadda ka dib marka la qaboojiyo, oo dhumucdiisu tahay 0.8-1.2 um. Waxay buuxisaa qaybaha yaryar ee qaloocan iyo kuwa qaloocan ee dusha sare ee badeecada la sameeyay si loo helo dusha sare oo muraayad u eg. Marka la sameeyo kaydinta uumiga faakuumka si loo helo saameyn muraayad milicsi leh ama si loogu faakuumo birta oo leh dhejis hoose, dusha hoose waa in la dahaadhaa.
Sputtering badanaa waxaa loola jeedaa magnetron sputtering, kaas oo ah hab sputtering heerkul hoose oo xawaare sare leh. Hawshu waxay u baahan tahay faakiyuum qiyaastii 1 × 10-3Torr ah, taas oo ah 1.3 × 10-3Pa xaalad faakiyuum ah oo lagu buuxiyay argon gaas oo aan firfircoonayn (Ar), iyo inta u dhaxaysa substrate-ka balaastikada ah (anode) iyo bartilmaameedka birta (cathode) oo lagu daray hadda tooska ah ee danab sare leh, sababtoo ah kicinta elektaroonigga ah ee gaaska aan firfircoonayn ee ka dhasha dheecaanka dhalaalaya, oo soo saara balaasmaha, balaasmadu waxay qarxin doontaa atamka bartilmaameedka birta waxayna ku shubi doontaa substrate-ka balaastikada ah. Inta badan dahaarka birta guud waxay isticmaalaan sputtering DC, halka walxaha dhoobada aan socodsiin ay isticmaalaan sputtering AC RF.
Dahaarka Ion waa hab loo isticmaalo dheecaan gaas ah si qayb ahaan loogu shubo gaaska ama walaxda la uumibixiyey xaaladaha faakiyuumka, walaxda la uumibixiyey ama falgalkeedana lagu shubo substrate-ka iyadoo la duqeynayo ion-yada gaaska ama ion-yada walaxda la uumibixiyey. Kuwaas waxaa ka mid ah dahaarka ion-ka ee magnetron sputtering, dahaarka ion-ka ee falcelinta leh, dahaarka ion-ka ee kathode-ka ee godka ah (habka dhigista uumiga cathode-ka ee godka ah), iyo dahaarka ion-ka ee badan-arc (dahaarka ion-ka cathode-ka ee arc).
Magnetron-ka laba-geesoodka ah ee toosan ee daahan joogto ah oo khadka ku jira
Adeegsi ballaaran, waxaa loo isticmaali karaa alaabada elektarooniga ah sida lakabka ilaalinta EMI ee qolofka buugga, alaabada fidsan, iyo xitaa dhammaan alaabada koobka nalalka ee ku jira qeexitaan dherer gaar ah ayaa la soo saari karaa. Awood rarid oo weyn, isku-xidhnaan kooban iyo isku-xidhnaan wareeg ah oo koobab iftiin koontarool leh oo loogu talagalay dahaarka laba-geesoodka ah, kaas oo yeelan kara awood rarid oo weyn. Tayada deggan, isku-dheellitirnaan wanaagsan oo lakabka filimka ah laga bilaabo dufcad ilaa dufcad. Heer sare oo otomaatig ah iyo kharash shaqo oo hooseeya.
– Maqaalkan waxaa soo saaray ’’Qoraalkan waxaa soo saaray ’’soo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumkaGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Jan-23-2025