Вакуум бүрхүүл нь голчлон вакуум ууршуулах, цацах бүрхүүл болон ионы бүрхүүлийг агуулдаг бөгөөд эдгээр нь бүгд вакуум нөхцөлд нэрэх эсвэл цацах замаар хуванцар эд ангийн гадаргуу дээр янз бүрийн металл болон металл бус хальсыг хуримтлуулахад ашиглагддаг бөгөөд энэ нь хурдан наалддаг давуу талтай маш нимгэн гадаргуугийн бүрхүүлийг бий болгодог боловч үнэ нь өндөр бөгөөд ажиллуулах боломжтой металлын төрлүүд нь бага бөгөөд ерөнхийдөө өндөр зэрэглэлийн бүтээгдэхүүний функциональ бүрхүүлд ашиглагддаг.
Вакуум ууршуулах арга нь металлыг өндөр вакуум дор халааж, хайлуулж, ууршуулж, хөргөсний дараа дээжийн гадаргуу дээр 0.8-1.2 мкм зузаантай нимгэн металл хальс үүсгэх арга юм. Энэ нь үүссэн бүтээгдэхүүний гадаргуу дээрх жижиг хотгор болон гүдгэр хэсгүүдийг дүүргэж, толин тусгал шиг гадаргуу үүсгэдэг. Вакуум ууршуулах аргыг тусгал толин тусгал эффект авах эсвэл наалдац багатай ганг вакуум ууршуулах зорилгоор гүйцэтгэх үед ёроолын гадаргууг бүрэх шаардлагатай.
Шүрших гэдэг нь ихэвчлэн магнетрон шүрших бөгөөд энэ нь өндөр хурдтай, бага температурт шүрших арга юм. Энэ процесст ойролцоогоор 1×10-3 Торр вакуум буюу инертийн хий аргон (Ar)-аар дүүргэсэн 1.3×10-3Па вакуум төлөв шаардлагатай бөгөөд хуванцар суурь (анод) болон металл бай (катод)-ын хооронд өндөр хүчдэлийн шууд гүйдэл шаардлагатай бөгөөд гэрэлтэлтийн ялгаруулалтаар үүссэн инертийн хийн электрон өдөөлтөөс болж плазм үүсч, плазм нь металл байны атомуудыг дэлбэлж, хуванцар суурь дээр байрлуулна. Ихэнх ерөнхий металл бүрхүүлүүд нь тогтмол гүйдлийн шүрших аргыг ашигладаг бол дамжуулагчгүй керамик материалууд нь RF AC шүрших аргыг ашигладаг.
Ионы бүрхүүл гэдэг нь хийн ялгаруулалтыг ашиглан вакуум нөхцөлд хий буюу ууршсан бодисыг хэсэгчлэн ионжуулж, ууршсан бодис буюу түүний урвалжуудыг хийн ион эсвэл ууршсан бодисын ионоор бөмбөгдөж суурь дээр хуримтлуулах арга юм. Үүнд магнетрон цацалтын ионы бүрхүүл, урвалд орох ионы бүрхүүл, хөндий катодын ялгаралтын ионы бүрхүүл (хөндий катодын ууршуулах арга) болон олон нуман ионы бүрхүүл (катодын нуман ионы бүрхүүл) орно.
Босоо хоёр талт магнетрон цацалтын тасралтгүй бүрхүүл нь шугаман дээр байна
Өргөн хэрэглээтэй, тэмдэглэлийн дэвтэр бүрхүүлийн EMI хамгаалалтын давхарга, хавтгай бүтээгдэхүүн гэх мэт электрон бүтээгдэхүүнд ашиглаж болно, тэр ч байтугай тодорхой өндрийн тодорхойлолтод багтсан бүх чийдэнгийн аяганы бүтээгдэхүүнийг үйлдвэрлэх боломжтой. Ачааллын багтаамж ихтэй, хоёр талт бүрхүүлтэй конус хэлбэрийн гэрлийн аяганд авсаархан хавчаар болон шаталсан хавчаар хийж, ачааллын багтаамж өндөр байж болно. Тогтвортой чанар, цувралаас цуврал хүртэл хальсан давхаргын сайн тогтвортой байдал. Өндөр түвшний автоматжуулалт, бага ашиглалтын хөдөлмөрийн зардал.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 1-р сарын 23