Ideri sputtering Magnetron ni a ṣe ni idasilẹ didan, pẹlu iwuwo itusilẹ kekere lọwọlọwọ ati iwuwo pilasima kekere ninu iyẹwu ti a bo. Eyi jẹ ki imọ-ẹrọ sputtering magnetron ni awọn aila-nfani gẹgẹbi agbara isunmọ sobusitireti fiimu kekere, iwọn ionization irin kekere, ati oṣuwọn ifisilẹ kekere. Ninu ẹrọ ti a fi bo magnetron sputtering, ẹrọ ifasilẹ arc kan ti wa ni afikun, eyiti o le lo ṣiṣan elekitironi iwuwo giga ni pilasima arc ti ipilẹṣẹ nipasẹ idasilẹ arc lati sọ di mimọ iṣẹ-ṣiṣe, O tun le ṣe alabapin ninu ibora ati ifisilẹ iranlọwọ.
Ṣafikun orisun agbara itusilẹ arc kan ninu ẹrọ ti a bo sputtering magnetron, eyiti o le jẹ orisun arc kekere, orisun arc planar onigun onigun, tabi orisun cathode arc iyipo iyipo. Ṣiṣan elekitironi iwuwo giga ti ipilẹṣẹ nipasẹ orisun cathode arc le ṣe awọn ipa wọnyi ni gbogbo ilana ti ibora sputtering magnetron:
1. Nu workpiece. Ṣaaju ki o to bo, tan-an orisun cathode arc, ati bẹbẹ lọ, ionize gaasi pẹlu ṣiṣan itanna arc, ki o sọ di mimọ pẹlu agbara kekere ati awọn ions argon iwuwo giga.
2. Orisun arc ati ibi-afẹde iṣakoso oofa jẹ ti a bo papọ. Nigbati ibi-afẹde sputtering magnetron pẹlu idasilẹ didan ti mu ṣiṣẹ fun ibora, orisun cathode arc tun mu ṣiṣẹ, ati pe awọn orisun ti a bo mejeeji ni a bo ni nigbakannaa. Nigbati akopọ ti ohun elo ibi-afẹde magnetron sputtering ati ohun elo ibi-afẹde orisun arc yatọ, awọn fẹlẹfẹlẹ pupọ ti fiimu le wa ni palara, ati pe Layer fiimu ti a fi silẹ nipasẹ orisun cathode arc jẹ interlayer ninu fiimu pupọ-Layer.
3. Awọn cathode arc orisun pese ga-iwuwo elekitironi sisan nigba ti kopa ninu ti a bo, jijẹ awọn iṣeeṣe ti ijamba pẹlu awọn sputtered irin film Layer awọn ọta ati lenu ategun, imudarasi awọn iwadi oro oṣuwọn, irin ionization oṣuwọn, ati ki o dun kan ni ipa ni ìrànwọ iwadi oro.
Orisun arc ti cathode ti a tunto ninu ẹrọ ti a fi bo magnetron ṣepọ orisun mimọ, orisun ti a bo, ati orisun ionization, ti n ṣe ipa rere kan ni imudarasi didara ti abọ sputtering magnetron nipa lilo ṣiṣan itanna arc ninu pilasima arc.
Akoko ifiweranṣẹ: Jun-21-2023