אין פאַקט, יאָן שטראַל אַסיסטעד דעפּאָזיציע טעכנאָלאָגיע איז אַ קאָמפּאָזיט טעכנאָלאָגיע. עס איז אַ קאָמפּאָזיט ייבערפלאַך יאָן באַהאַנדלונג טעכניק וואָס קאַמביינז יאָן ימפּלאַנטיישאַן און גשמיות פארע דעפּאָזיציע פילם טעכנאָלאָגיע, און אַ נייַ טיפּ פון יאָן שטראַל ייבערפלאַך אָפּטימיזאַציע טעכניק. אין אַדישאַן צו די אַדוואַנידזשיז פון גשמיות פארע דעפּאָזיציע, דעם טעכניק קענען קאַנטיניואַסלי וואַקסן קיין גרעב פילם אונטער מער שטרענג קאָנטראָל באדינגונגען, פֿאַרבעסערן די קריסטאַליניטי און אָריענטירונג פון די פילם שיכטע מער באַטייטיק, פאַרגרעסערן די אַדכיזשאַן שטאַרקייַט פון די פילם שיכטע / סאַבסטראַט, פֿאַרבעסערן די געדיכטקייט פון די פילם שיכטע, און סינטעזירן קאַמפּאַונד פילמס מיט ידעאַל סטאָיכיאָמעטריק פאַרהעלטענישן בייַ נאָענט צו צימער טעמפּעראַטור, אַרייַנגערעכנט נייַ טייפּס פון פילמס וואָס קענען ניט זיין באקומען בייַ צימער טעמפּעראַטור און דרוק. יאָן שטראַל אַסיסטעד דעפּאָזיציע ניט בלויז ריטיינז די אַדוואַנידזשיז פון די יאָן ימפּלאַנטיישאַן פּראָצעס, אָבער קענען אויך דעקן די סאַבסטראַט מיט אַ גאָר אַנדערש פילם פון די סאַבסטראַט.
אין אלע סארטן פיזישע פארע-דעפאזיציע און כעמישע פארע-דעפאזיציע, קען מען צולייגן א סעט הילפס-באמבארדירונגס-יאן-געווער צו שאפן אן IBAD סיסטעם, און עס זענען דא צוויי אלגעמיינע IBAD פראצעסן ווי פאלגנד, ווי געוויזן אין בילד:
ווי געוויזן אין בילד (א), ווערט אן עלעקטראן שטראל פארדאמפונג מקור גענוצט צו באשטראלן די פילם שיכט מיטן יאן שטראל וואס ווערט ארויסגעלאזט פון דער יאן ביקס, אזוי רעאליזירנדיג יאן שטראל געשטיצטע דעפאזיציע. דער פארטייל איז אז די יאן שטראל ענערגיע און ריכטונג קענען ווערן צוגעפאסט, אבער נאר איין אדער א באגרענעצטע צומיש, אדער קאמפאונד קען ווערן גענוצט אלס די פארדאמפונג מקור, און יעדער פארע דרוק פון די צומיש קאמפאנענט און קאמפאונד איז אנדערש, וואס מאכט עס שווער צו באקומען די פילם שיכט פון דער אריגינעלער פארדאמפונג מקור קאמפאזיציע.
בילד (ב) ווייזט די יאָן שטראַל ספּאַטערינג-אַסיסטירטע דעפּאָזיציע, וואָס איז אויך באַקאַנט ווי טאָפּל יאָן שטראַל ספּאַטערינג דעפּאָזיציע, אין וועלכער די ציל געמאַכט פון יאָן שטראַל ספּאַטערינג קאָוטינג מאַטעריאַל, די ספּאַטערינג פּראָדוקטן ווערן גענוצט ווי די מקור. בשעת דעפּאָזיטירן עס אויף די סאַבסטראַט, יאָן שטראַל ספּאַטערינג אַסיסטירטע דעפּאָזיציע ווערט דערגרייכט דורך באַשטראַלונג מיט אן אנדער יאָן מקור. דער מייַלע פון דעם מעטאָד איז אַז די ספּאַטערד פּאַרטיקאַלז אַליין האָבן אַ געוויסע ענערגיע, אַזוי עס איז בעסער אַדכיזשאַן מיט די סאַבסטראַט; יעדער קאָמפּאָנענט פון די ציל קען זיין ספּאַטערד קאָוטינג, אָבער עס קען אויך זיין רעאַקציע ספּאַטערינג אין די פילם, גרינג צו סטרויערן די זאַץ פון די פילם, אָבער זייַן דעפּאָזיציע עפעקטיווקייַט איז נידעריק, די ציל איז טייַער און עס זענען פּראָבלעמען אַזאַ ווי סעלעקטיוו ספּאַטערינג.
פּאָסט צייט: נאָוועמבער-08-2022