מאַגנעטראָן ספּאַטערינג קאָוטינג ווערט דורכגעפירט אין גלאָו דיסטשאַרדזש, מיט נידעריק דיסטשאַרדזש קראַנט געדיכטקייט און נידעריק פּלאַזמע געדיכטקייט אין דער קאָוטינג קאַמער. דאָס מאַכט אַז מאַגנעטראָן ספּאַטערינג טעכנאָלאָגיע האט חסרונות אַזאַ ווי נידעריק פילם סאַבסטראַט באַנדינג קראַפט, נידעריק מעטאַל ייאַניזיישאַן קורס, און נידעריק דעפּאָזישאַן קורס. אין דער מאַגנעטראָן ספּאַטערינג קאָוטינג מאַשין, ווערט צוגעגעבן אַן אַרק דיסטשאַרדזש מיטל, וואָס קען נוצן דעם הויך-געדיכטקייט עלעקטראָן פלוס אין דער אַרק פּלאַזמע דזשענערייטאַד דורך אַרק דיסטשאַרדזש צו רייניקן די ווערקפּיס, עס קען אויך אָנטייל נעמען אין קאָוטינג און הילפס דעפּאָזישאַן.
לייגט צו אן ארק-אויסלאדונג קראפט מקור אין דער מאַגנעטראָן ספּאַטערינג קאָוטינג מאַשין, וואָס קען זיין אַ קליין ארק מקור, אַ רעכטעקיק פּלאַנאַר ארק מקור, אָדער אַ סילינדריקאַל קאַטאָדע ארק מקור. דער הויך-דענסיטי עלעקטראָן שטראָם דזשענערייטאַד דורך די קאַטאָדע ארק מקור קען שפּילן די פאלגענדע ראָלעס אין דעם גאַנצן פּראָצעס פון מאַגנעטראָן ספּאַטערינג קאָוטינג:
1. רייניקן דעם ווערקפּיס. איידער מען באַשמירט, צינדט אָן די קאַטאָדע באָגן מקור, א.א.וו., יאָניזירט דעם גאַז מיט באָגן עלעקטראָן שטראָם, און רייניקן דעם ווערקפּיס מיט נידעריק ענערגיע און הויך געדיכטקייט אַרגאָן יאָנען.
2. די בויגן-קוואל און מאַגנעטישע קאָנטראָל ציל ווערן באדעקט צוזאַמען. ווען די מאַגנעטראָן ספּאַטערינג ציל מיט גלאָו דיסטשאַרדזש איז אַקטיוויזירט פֿאַר קאָוטינג, ווערט די קאַטאָדע בויגן-קוואל אויך אַקטיוויזירט, און ביידע קאָוטינג קוועלער ווערן סיימאַלטייניאַסלי באדעקט. ווען די קאָמפּאָזיציע פון די מאַגנעטראָן ספּאַטערינג ציל מאַטעריאַל און די בויגן-קוואל ציל מאַטעריאַל איז אַנדערש, קענען קייפל שיכטן פון פילם ווערן פּלייטאַד, און די פילם שיכט וואָס איז דעפּאַזיטעד דורך די קאַטאָדע בויגן-קוואל איז אַ צווישן-שיכט אין די מולטי-שיכט פילם.
3. די קאַטאָדע אַרק מקור גיט הויך-דענסיטי עלעקטראָן לויפן ווען עס באַטייליקט זיך אין קאָוטינג, וואָס פאַרגרעסערט די וואַרשיינלעכקייט פון קאָליזיע מיט די ספּאַטערד מעטאַל פילם שיכטע אַטאָמען און רעאַקציע גאַזן, ימפּרוווינג די דעפּאַזישאַן קורס, מעטאַל ייאַניזיישאַן קורס, און שפּילט אַ ראָלע אין אַסיסטינג דעפּאַזישאַן.
די קאַטאָדע באָגן מקור קאָנפיגורירט אין די מאַגנעטראָן ספּאַטערינג קאָוטינג מאַשין ינטאַגרייץ אַ רייניקונג מקור, קאָוטינג מקור, און ייאַניזיישאַן מקור, פּלייינג אַ positive ראָלע אין ימפּרוווינג די קוואַליטעט פון מאַגנעטראָן ספּאַטערינג קאָוטינג דורך יוטאַלייזינג די באָגן עלעקטראָן לויפן אין די באָגן פּלאַזמע.
פּאָסט צייט: 21סטן יוני 2023