Magnetronni püskürtme qoplamasi porlashda, past oqim zichligi va qoplama kamerasida past plazma zichligi bilan amalga oshiriladi. Bu magnetronli püskürtme texnologiyasining past plyonkali substratni bog'lash kuchi, past metall ionlash tezligi va past cho'kish tezligi kabi kamchiliklarga ega bo'lishiga olib keladi. Magnitronli püskürtme qoplama mashinasida, ishlov beriladigan qismni tozalash uchun boshq zaryadsizlanishi natijasida hosil bo'lgan yoy plazmasida yuqori zichlikdagi elektron oqimidan foydalanishi mumkin bo'lgan boshq tushirish moslamasi qo'shiladi, shuningdek, qoplama va yordamchi yotqizishda ishtirok etishi mumkin.
Magnitronli püskürtme qoplama mashinasida kamon deşarj quvvat manbasini qo'shing, u kichik yoy manbai, to'rtburchaklar tekis yoy manbai yoki silindrsimon katodli yoy manbai bo'lishi mumkin. Katod yoyi manbai tomonidan ishlab chiqarilgan yuqori zichlikdagi elektron oqimi magnetron bilan qoplangan qoplamaning butun jarayonida quyidagi rollarni o'ynashi mumkin:
1. Ish qismini tozalang. Qoplashdan oldin, katod boshq manbasini va hokazolarni yoqing, gazni yoy elektron oqimi bilan ionlashtiring va ish qismini past energiya va yuqori zichlikdagi argon ionlari bilan tozalang.
2. Ark manbai va magnit nazorat qilish nishoni birgalikda qoplanadi. Yorituvchi razryadli magnetronning purkash nishoni qoplama uchun faollashtirilganda, katod yoyi manbai ham faollashadi va ikkala qoplama manbasi bir vaqtning o'zida qoplanadi. Magnitronli purkash maqsadli materialining tarkibi va boshq manbai maqsadli materialining tarkibi boshqacha bo'lsa, plyonkaning bir nechta qatlamlari qoplanishi mumkin va katod boshq manbai tomonidan yotqizilgan plyonka qatlami ko'p qatlamli plyonkada oraliq qatlam hisoblanadi.
3. Katod boshq manbai qoplamada ishtirok etishda yuqori zichlikdagi elektron oqimini ta'minlaydi, purkalgan metall plyonka qatlami atomlari va reaksiya gazlari bilan to'qnashuv ehtimolini oshiradi, cho'kish tezligini, metall ionlanish tezligini yaxshilaydi va cho'kishda yordam berishda rol o'ynaydi.
Magnitronli püskürtme qoplama mashinasida konfiguratsiya qilingan katodli yoy manbai tozalash manbasini, qoplama manbasini va ionlanish manbasini birlashtiradi va yoy plazmasida yoy elektron oqimidan foydalanish orqali magnetronli püskürtme qoplamasining sifatini yaxshilashda ijobiy rol o'ynaydi.
Xabar vaqti: 21-iyun-2023