Чынлыкта, Ион нуры ярдәмендә чүпләү технологиясе - композицион технология. Бу ион имплантациясе һәм физик парны чүпләү кино технологиясен берләштергән составлы өслек ионын эшкәртү техникасы, һәм ион нуры өслеген оптимизацияләүнең яңа төре. Физик парны туплау өстенлекләренә өстәп, бу техника тагын да катырак контроль шартларда теләсә нинди калынлыктагы фильмны үстерә ала, кристалллыгын һәм кино катламының юнәлешен яхшырта, кино катламының / субстратның ябышу көчен арттыра, кино катламының тыгызлыгын яхшырта, һәм бүлмә температурасында идеаль стохиометрик нисбәтләр белән кушылган фильмнарны синтезлый, шул исәптән бүлмә температурасында һәм басып булмый. Ион нуры ярдәмендә ион имплантация процессының өстенлекләрен саклап калмыйча, субстратны субстраттан бөтенләй башка фильм белән каплый ала.
Төрле физик парларны чүпләүдә һәм химик парларны чүпләүдә, IBAD системасын формалаштыру өчен ярдәмче бомбардировщик ион мылтыгын өстәргә мөмкин, һәм рәсемдә күрсәтелгәнчә ике гомуми IBAD процессы бар:
Pic (a) -та күрсәтелгәнчә, электрон нурның парга әйләнү чыганагы кино катламын ион мылтыгыннан чыккан ион нуры белән нурландыру өчен кулланыла, шулай итеп ион нуры ярдәмендә чүпләнүне аңлый. Өстенлеге шунда: ион нуры энергиясе һәм юнәлеше көйләнергә мөмкин, ләкин парлану чыганагы буларак бер яки чикләнгән эретмә яки кушылма гына кулланыла ала, һәм эретелгән компонент һәм кушылманың һәр пар басымы төрле, бу оригиналь парлану чыганагы композициясенең кино катламын алу кыенлаштыра.
Пик (б) ион нурының чәчелүе ярдәмендә күрсәтелә, ул шулай ук икеләтә ион нуры чәчелүе дип атала, анда ион нуры чәчелгән каплау материалыннан ясалган максат, чыганак продуктлары кулланыла. Аны субстратка урнаштырганда, ион нурлары чәчелгән ярдәмгә бүтән ион чыганагы белән нурланыш ярдәмендә ирешелә. Бу ысулның өстенлеге шунда: чәчелгән кисәкчәләрнең үзләре билгеле бер энергиягә ия, шуңа күрә субстрат белән яхшырак ябышу бар; Максатның теләсә нинди компоненты чәчелгән каплау белән капланырга мөмкин, ләкин шулай ук фильмга реакция булырга мөмкин, фильмның составын көйләү җиңел, ләкин аның эффективлыгы түбән, максат кыйммәт, сайлап алу кебек проблемалар бар.
Пост вакыты: Ноябрь-08-2022