Магнитрон чәчү каплавы ялтыравык агымда башкарыла, түбән агып торган ток тыгызлыгы һәм каплау камерасында плазма тыгызлыгы түбән. Бу магнитрон спуттеринг технологиясенең кимчелекләренә китерә, түбән пленка субстрат бәйләү көче, түбән металл ионлаштыру темплары, түбән чокыр тизлеге. Магнитрон чәчкеч каплау машинасында, дугадан чыгару җайланмасы өстәлә, ул эш тыгызлыгын чистарту өчен дуга аркасы плазмасында югары тыгызлыктагы электрон агымны куллана ала, ул шулай ук каплауда һәм ярдәмче чүплектә катнаша ала.
Кечкенә дуга чыганагы, турыпочмаклы планар дуга чыганагы яки цилиндрик катод дугасы чыганагы булырга мөмкин магнитрон чәчү каплау машинасына дугадан чыгару көче чыганагын өстәгез. Катод дугасы чыганагы тудырган югары тыгызлыктагы электрон агым магнитронның бөтерелү каплау процессында түбәндәге рольләрне уйный ала:
1. Эш кисәген чистарт. Каплау алдыннан, катод дуга чыганагын кабызыгыз һ.б., газны дуга электрон агымы белән ионлаштырыгыз, эш өлешен аз энергия һәм югары тыгызлыктагы аргон ионнары белән чистартыгыз.
2. Дуга чыганагы һәм магнит белән идарә итү максаты бергә капланган. Магнитронның ялтыравыклы агызу максаты каплау өчен активлашкач, катод дугасы чыганагы да активлаша, һәм ике каплау чыганагы бер үк вакытта капланган. Магнитронның максатчан материалы һәм дуга чыганагы максатчан материалның составы төрле булганда, берничә катлы пленка белән капланырга мөмкин, һәм катод дугасы чыганагы урнашкан кино катламы күп катламлы фильмда үзара бәйләнештә тора.
3.
Магнитрон чәчү каплау машинасында конфигурацияләнгән катод дугасы чистарту чыганагын, каплау чыганагын һәм ионлаштыру чыганагын берләштерә, арк плазмасында дуга электрон агымын кулланып магнитрон чәчү каплау сыйфатын яхшыртуда уңай роль уйный.
Пост вакыты: 21-2023 июнь